اصول و فناوری پوشش رسوب بخار فیزیکی (1/2) - نیمه هادی VeTek

فرآیند فیزیکی ازپوشش خلاء

پوشش خلاء را می توان اساسا به سه فرآیند تقسیم کرد: "تبخیر مواد فیلم"، "انتقال خلاء" و "رشد لایه نازک". در پوشش خلاء، اگر ماده فیلم جامد باشد، باید اقداماتی برای تبخیر یا تصعید مواد فیلم جامد به گاز انجام شود و سپس ذرات ماده فیلم تبخیر شده در خلاء حمل می‌شوند. در طول فرآیند انتقال، ذرات ممکن است برخوردی نداشته باشند و مستقیماً به زیرلایه برسند یا ممکن است در فضا با هم برخورد کنند و پس از پراکندگی به سطح زیرلایه برسند. در نهایت، ذرات بر روی بستر متراکم می شوند و به یک لایه نازک تبدیل می شوند. بنابراین، فرآیند پوشش شامل تبخیر یا تصعید مواد فیلم، انتقال اتم‌های گاز در خلاء، و جذب، انتشار، هسته‌زایی و دفع اتم‌های گازی روی سطح جامد است.

طبقه بندی پوشش خلاء

با توجه به روش های مختلف تغییر مواد فیلم از جامد به گاز و فرآیندهای مختلف انتقال اتم های مواد فیلم در خلاء، پوشش خلاء اساساً به چهار نوع تقسیم می شود: تبخیر خلاء، کندوپاش خلاء، آبکاری یون خلاء، و رسوب بخار شیمیایی خلاء. سه روش اول نامیده می شوندرسوب فیزیکی بخار (PVD)، و دومی نامیده می شودرسوب بخار شیمیایی (CVD).

پوشش تبخیر خلاء

پوشش تبخیر خلاء یکی از قدیمی ترین فناوری های پوشش خلاء است. در سال 1887، R. Nahrwold تهیه فیلم پلاتین را با تصعید پلاتین در خلاء گزارش کرد که منشا پوشش تبخیری در نظر گرفته می شود. در حال حاضر پوشش تبخیر از پوشش تبخیر مقاومت اولیه به فن آوری های مختلف مانند پوشش تبخیر پرتو الکترونی، پوشش تبخیر حرارت القایی و پوشش تبخیر لیزر پالسی توسعه یافته است.

گرمایش مقاومتیپوشش تبخیر خلاء

منبع تبخیر مقاومتی دستگاهی است که از انرژی الکتریکی برای گرم کردن مستقیم یا غیرمستقیم ماده فیلم استفاده می کند. منبع تبخیر مقاومت معمولاً از فلزات، اکسیدها یا نیتریدها با نقطه ذوب بالا، فشار بخار کم، پایداری شیمیایی و مکانیکی خوب مانند تنگستن، مولیبدن، تانتالیم، گرافیت با خلوص بالا، سرامیک اکسید آلومینیوم، سرامیک نیترید بور و سایر مواد ساخته شده است. . اشکال منابع تبخیر مقاومتی عمدتاً شامل منابع رشته ای، منابع فویل و بوته می باشد.

هنگام استفاده، برای منابع فیلامنت و منابع فویل، فقط دو سر منبع تبخیر را با مهره ها به پایه های ترمینال ثابت کنید. بوته معمولاً در یک سیم مارپیچ قرار داده می شود و سیم مارپیچ برای گرم کردن بوته نیرو داده می شود و سپس بوته گرما را به مواد فیلم منتقل می کند.

VeTek Semiconductor یک تولید کننده حرفه ای چینی استپوشش کاربید تانتالیوم, پوشش کاربید سیلیکون, گرافیت ویژه, سرامیک سیلیکون کاربیدوسایر سرامیک های نیمه هادیVeTek Semiconductor متعهد به ارائه راه حل های پیشرفته برای محصولات مختلف پوشش برای صنعت نیمه هادی است.

اگر سؤالی دارید یا نیاز به جزئیات بیشتری دارید، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

Mob/WhatsAPP: 0752 6922 180-86+

ایمیل: anny@veteksemi.com