چین نیترید سیلیکون سازنده، تامین کننده، کارخانه

VeTek Semiconductor بر تولید سیلیکون نیترید تمرکز دارد و دارای یک تیم تحقیق و توسعه متشکل از کارشناسان ارشد و استعدادهای فنی برتر است. سرامیک های نیترید سیلیکون دارای مزایای سختی، مقاومت در برابر حرارت، مقاومت در برابر سایش و مقاومت در برابر خوردگی مواد سرامیکی عمومی هستند و دارای مزایای مقاومت در برابر شوک حرارتی خوب، مقاومت در برابر خزش در دمای بالا، خود روانکاری خوب و پایداری شیمیایی خوب هستند و به طور گسترده ای هستند. مورد استفاده در انرژی های نو، صنایع شیمیایی، هوا فضا و زمینه های نیمه هادی.

مواد سیلیکون نیترید نیمه هادی VeTek دارای مزایای برجسته زیر است:

1. پایداری شیمیایی عالی

سرامیک های نیترید سیلیکون پایداری شیمیایی عالی دارند و می توانند در برابر انواع اسیدهای قوی، قلیایی ها و گازهای خورنده مقاومت کنند. در فرآیند تولید نیمه هادی اغلب نیاز به مقابله با مواد شیمیایی خورنده، سرامیک نیترید سیلیکون می تواند تضمین عملکرد پایدار طولانی مدت را ارائه دهد.

2. خواص مکانیکی عالی

سرامیک های نیترید سیلیکون دارای سختی بالا، مقاومت فشاری عالی و مقاومت در برابر سایش هستند، قادر به مقاومت در برابر استرس مکانیکی و سایش سطح هستند، تغییر شکل یا پارگی آسان نیست. این خاصیت مکانیکی آن را به عنوان ماده ای برای قطعات ساختاری و فرآیندی در تجهیزات نیمه هادی بسیار مناسب می کند.

3. پایداری در دمای بالا

سرامیک های نیترید سیلیکون می توانند پایداری را در محیط های با دمای بالا حفظ کنند، نرم شدن یا ذوب شدن آسان نیست، و می توانند در فرآیند تولید نیمه هادی در برابر پردازش و جابجایی در دمای بالا مقاومت کنند. این به آن اجازه می دهد تا در ساخت قطعات کلیدی تجهیزات فرآیند با دمای بالا، مانند گیره ها، اجزای اتاق واکنش و غیره استفاده شود.

4. خواص عایق عالی

خواص عایق در ساخت دستگاه های نیمه هادی حیاتی است. سرامیک های نیترید سیلیکون دارای خواص عایق خوبی هستند که می تواند به طور موثر اجزای مدار را از نشت جریان یا تداخل الکترومغناطیسی جدا کرده و محافظت کند و به بهبود پایداری و قابلیت اطمینان دستگاه کمک کند.

5. هدایت حرارتی و هدایت حرارتی

سرامیک های نیترید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالایی هستند، می توانند به طور موثر گرمای تولید شده توسط دستگاه را هدایت و دفع کنند و به حفظ ثبات دمایی دستگاه در فرآیند کار کمک کنند. این برای عملکرد با عملکرد بالا دستگاه های نیمه هادی بسیار مهم است.

کاربردهای مواد نیترید سیلیکون VeTek Semiconductor در صنایع خورشیدی و نیمه هادی عمدتاً عبارتند از:

1. چاک های الکترواستاتیک و اجزای محفظه اچینگ

سرامیک های نیترید سیلیکون اغلب به عنوان مواد برای چاک های الکترواستاتیک و اجزای محفظه اچینگ در تولید نیمه هادی ها به دلیل پایداری شیمیایی عالی و مقاومت در برابر دمای بالا استفاده می شوند. از چاک های الکترواستاتیک برای تثبیت و تثبیت ویفرها یا بسترها استفاده می شود، در حالی که اجزای محفظه اچ برای مقاومت در برابر گازهای خورنده و محیط های با دمای بالا استفاده می شوند.

2. صفحات توزیع گاز و بازتابنده

سرامیک نیترید سیلیکون نیز در ساخت تجهیزات نیمه هادی در صفحات توزیع گاز و بازتابنده ها استفاده می شود. صفحات توزیع گاز برای توزیع یکنواخت گازهای واکنشگر یا محافظ در محفظه واکنش استفاده می شوند، در حالی که بازتابنده ها برای بهینه سازی توزیع و انعکاس نور در داخل محفظه واکنش برای بهبود کارایی و یکنواختی واکنش استفاده می شوند.

3. نگهدارنده ها و اجزای حرارتی

سرامیک نیترید سیلیکون اغلب به عنوان نگهدارنده و اجزای مدیریت حرارتی در تجهیزات تولید نیمه هادی استفاده می شود. این قطعات باید استحکام مکانیکی، مقاومت در برابر سایش و هدایت حرارتی خوبی داشته باشند تا از عملکرد پایدار تجهیزات و دقت پردازش دستگاه اطمینان حاصل کنند.

4. پدهای پولیش مکانیکی شیمیایی (CMP).

سرامیک سیلیکون نیترید به طور گسترده ای به عنوان یک ماده پد در فرآیند پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP) استفاده می شود. این دارای صافی و مقاومت در برابر سایش عالی است و می تواند پشتیبانی پایدار را در طول فرآیند پرداخت برای اطمینان از صافی و دقت سطح ویفر نیمه هادی فراهم کند.