> محصولات > پوشش کاربید تانتالیوم

محصولات

محصولات جدید

چین پوشش کاربید تانتالیوم سازنده، تامین کننده، کارخانه

نیمه هادی VeTek تولید کننده پیشرو مواد پوشش کاربید تانتالم برای صنعت نیمه هادی است. محصولات اصلی ما شامل قطعات پوشش کاربید تانتالم CVD، قطعات پوشش TaC متخلخل شده برای رشد کریستال SiC یا فرآیند اپیتاکسی نیمه هادی است. با تصویب ISO9001، نیمه هادی VeTek کنترل خوبی بر کیفیت دارد. نیمه هادی VeTek برای تبدیل شدن به مبتکر در صنعت پوشش کاربید تانتالم از طریق تحقیق و توسعه مداوم فناوری های تکراری اختصاص داده شده است.

محصولات اصلی هستندحلقه ناقص پوشش کاربید تانتالیوم، حلقه انحرافی با پوشش TaC، قطعات نیمه ماه با پوشش TaC، دیسک چرخش سیاره ای با پوشش کاربید تانتالم (Aixtron G10)، بوته با پوشش TaC. حلقه های با پوشش TaC; گرافیت متخلخل با پوشش TaC; گیره گرافیتی پوشش کاربید تانتالم; حلقه راهنما با پوشش TaC; صفحه پوشش داده شده با کاربید تانتالم TaC; گیرنده ویفر با پوشش TaC; حلقه پوشش TaC; پوشش گرافیتی پوشش TaC; تکه با پوشش TaCو غیره، خلوص زیر 5ppm است، می تواند نیازهای مشتری را برآورده کند.

گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح یک بستر گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز کاربید تانتالیوم توسط فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد می شود. مزیت آن در تصویر زیر نشان داده شده است:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) به دلیل نقطه ذوب بالای آن تا 3880 درجه سانتیگراد، استحکام مکانیکی عالی، سختی و مقاومت در برابر شوک های حرارتی مورد توجه قرار گرفته است و آن را به جایگزینی جذاب برای فرآیندهای اپیتاکسی نیمه هادی مرکب با شرایط دمایی بالاتر تبدیل کرده است. مانند سیستم Aixtron MOCVD و فرآیند اپیتاکسی LPE SiC. همچنین کاربرد گسترده ای در فرآیند رشد کریستال SiC روش PVT دارد.

ویژگی های کلیدی:

پایداری دما

خلوص فوق العاده بالا

مقاومت در برابر H2، NH3، SiH4، Si

مقاومت در برابر استوک حرارتی

چسبندگی قوی به گرافیت

پوشش پوششی منسجم

اندازه تا قطر 750 میلی متر (تنها سازنده در چین به این اندازه می رسد)

برنامه های کاربردی:

حامل ویفر

گیرنده گرمایش القایی

المنت حرارتی مقاومتی

دیسک ماهواره

سر دوش

حلقه راهنما

گیرنده LED Epi

نازل تزریق

حلقه ماسک

سپر حرارتی

پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) روی سطح مقطع میکروسکوپی:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

پارامتر پوشش کاربید تانتالم نیمه هادی VeTek:

خواص فیزیکی پوشش TaC
تراکم	14.3 (g/cm³)
انتشار ویژه	0.3
ضریب انبساط حرارتی	6.3 10^-6/ ک
سختی (HK)	2000 هنگ کنگ
مقاومت	1×10^-5اهم * سانتی متر
پایداری حرارتی	<2500℃
اندازه گرافیت تغییر می کند	-10~-20 میلی متر
ضخامت پوشش	مقدار معمولی ≥20um (10±35um)

داده های EDX پوشش TaC：

TaC coating EDX data

داده های ساختار کریستالی پوشش TaC

عنصر	درصد اتمی
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	میانگین
سی ک	52.10	57.41	52.37	53.96
تا ام	47.90	42.59	47.63	46.04

چاک پوشش TaC دیسک سیاره ای پوشش TaC صفحه با پوشش TaC صفحه چرخشی پوشش TaC گیرنده پوشش TaC پوشش CVD TaC پوشش حلقه پوشش CVD TaC صفحه پوشش TaC

View as

حلقه با پوشش کاربید تانتالیوم

به عنوان یک مبتکر حرفه ای و رهبر محصولات حلقه با پوشش کاربید تانتالم در چین، حلقه نیمه هادی با پوشش کاربید تانتالیوم VeTek با مقاومت عالی در دمای بالا، مقاومت در برابر سایش و هدایت حرارتی عالی، نقشی بی بدیل در رشد کریستال SiC ایفا می کند. از مشاوره بیشتر خود استقبال کنید.

ادامه مطلب ارسال استعلام

کاربید تانتالوم متخلخل

VeTek Semiconductor یک تولید کننده حرفه ای و رهبر محصولات کاربید تانتالیوم متخلخل در چین است. کاربید تانتالیوم متخلخل معمولاً با روش رسوب بخار شیمیایی (CVD) تولید می‌شود که کنترل دقیق اندازه منافذ و توزیع آن را تضمین می‌کند و ابزاری است که برای محیط‌های شدید دمای بالا اختصاص داده شده است. از مشاوره بیشتر خود استقبال کنید.

ادامه مطلب ارسال استعلام

حلقه کاربید تانتالیوم

به عنوان یک تولید کننده و تولید کننده پیشرفته محصولات حلقه کاربید تانتالم در چین، حلقه کاربید تانتالیوم نیمه هادی VeTek دارای سختی، مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر دمای بالا و پایداری شیمیایی است و به طور گسترده در زمینه تولید نیمه هادی استفاده می شود. به خصوص در CVD، PVD، فرآیند کاشت یون، فرآیند اچ کردن، و پردازش و حمل و نقل ویفر، محصولی ضروری برای پردازش و ساخت نیمه هادی است. منتظر مشاوره بیشتر شما هستیم

ادامه مطلب ارسال استعلام

پشتیبانی از پوشش کاربید تانتالیوم

به عنوان یک تولید کننده و کارخانه حرفه ای محصول پشتیبانی از پوشش کاربید تانتالم در چین، پشتیبانی پوشش کاربید تانتالیوم نیمه هادی VeTek معمولاً برای پوشش سطحی اجزای ساختاری یا اجزای پشتیبانی در تجهیزات نیمه هادی استفاده می شود، به ویژه برای محافظت از سطح اجزای تجهیزات کلیدی در فرآیندهای تولید نیمه هادی مانند CVD و PVD. از مشاوره بیشتر خود استقبال کنید.

ادامه مطلب ارسال استعلام

حلقه راهنمای کاربید تانتالیوم

VeTek Semiconductor یک تولید کننده حرفه ای و رهبر محصولات حلقه راهنمای کاربید تانتالم در چین است. حلقه راهنمای کاربید تانتالوم (TaC) ما یک جزء حلقه با کارایی بالا ساخته شده از کاربید تانتالیوم است که معمولاً در تجهیزات پردازش نیمه هادی، به ویژه در محیط های با دمای بالا و بسیار خورنده مانند CVD، PVD، اچینگ و انتشار استفاده می شود. VeTek Semiconductor متعهد به ارائه فناوری پیشرفته و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی است و از سوالات بیشتر شما استقبال می کند.

ادامه مطلب ارسال استعلام

محافظ چرخشی پوشش TaC

به عنوان یک تولید کننده حرفه ای، مبتکر و رهبر محصولات TaC Coating Rotation Susceptor در چین. گیرنده چرخشی پوشش نیمه هادی TaC VeTek معمولاً در تجهیزات رسوب بخار شیمیایی (CVD) و اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE) برای پشتیبانی و چرخش ویفرها برای اطمینان از رسوب یکنواخت مواد و واکنش کارآمد نصب می شود. این یک جزء کلیدی در پردازش نیمه هادی است. از مشاوره بیشتر خود استقبال کنید.

ادامه مطلب ارسال استعلام

<1 2 3 4 5...7 >

به عنوان یک تولید کننده و تامین کننده حرفه ای پوشش کاربید تانتالیوم در چین، ما کارخانه خود را داریم. چه به خدمات سفارشی‌سازی شده برای رفع نیازهای خاص منطقه خود نیاز داشته باشید یا بخواهید پیشرفته و بادوام پوشش کاربید تانتالیوم ساخت چین بخرید، می‌توانید برای ما پیام بگذارید.