نیمه هادی VeTek تولید کننده پیشرو مواد پوشش کاربید تانتالم برای صنعت نیمه هادی است. محصولات اصلی ما شامل قطعات پوشش کاربید تانتالیوم CVD، قطعات پوشش TaC متخلخل برای رشد کریستال SiC یا فرآیند اپیتاکسی نیمه هادی است. با تصویب ISO9001، نیمه هادی VeTek کنترل خوبی بر کیفیت دارد. نیمه هادی VeTek برای تبدیل شدن به مبتکر در صنعت پوشش کاربید تانتالم از طریق تحقیق و توسعه مداوم فناوری های تکراری اختصاص داده شده است.
محصولات اصلی عبارتند از: حلقه ناقص پوشش کاربید تانتالم، حلقه انحراف با پوشش TaC، قطعات نیمه ماه با پوشش TaC، دیسک چرخش سیاره ای پوشش داده شده با کاربید تانتالم (Aixtron G10)، بوته با پوشش TaC. حلقه های با پوشش TaC; گرافیت متخلخل با پوشش TaC; گیره گرافیتی پوشش کاربید تانتالم; حلقه راهنما با پوشش TaC; صفحه پوشش داده شده با کاربید تانتالم TaC; گیرنده ویفر با پوشش TaC; حلقه پوشش TaC; پوشش گرافیتی پوشش TaC; TaC Coated Chunk و غیره، خلوص زیر 5ppm است، می تواند نیازهای مشتری را برآورده کند.
گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح یک بستر گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز کاربید تانتالیوم توسط فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد می شود. مزیت آن در تصویر زیر نشان داده شده است:
پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) به دلیل نقطه ذوب بالای آن تا 3880 درجه سانتیگراد، استحکام مکانیکی عالی، سختی و مقاومت در برابر شوک های حرارتی مورد توجه قرار گرفته است و آن را به جایگزینی جذاب برای فرآیندهای اپیتاکسی نیمه هادی مرکب با شرایط دمایی بالاتر تبدیل کرده است. مانند سیستم Aixtron MOCVD و فرآیند اپیتاکسی LPE SiC. همچنین کاربرد گسترده ای در فرآیند رشد کریستال SiC روش PVT دارد.
پایداری دما
خلوص فوق العاده بالا
مقاومت در برابر H2، NH3، SiH4، Si
مقاومت در برابر استوک حرارتی
چسبندگی قوی به گرافیت
پوشش پوششی منسجم
اندازه تا قطر 750 میلی متر (تنها سازنده در چین به این اندازه می رسد)
حامل ویفر
گیرنده گرمایش القایی
المنت حرارتی مقاومتی
دیسک ماهواره
سر دوش
حلقه راهنما
گیرنده LED Epi
نازل تزریق
حلقه ماسک
سپر حرارتی
خواص فیزیکی پوشش TaC | |
تراکم | 14.3 (g/cm³) |
انتشار ویژه | 0.3 |
ضریب انبساط حرارتی | 6.3 10-6/K |
سختی (HK) | 2000 هنگ کنگ |
مقاومت | 1×10-5 اهم * سانتی متر |
پایداری حرارتی | <2500℃ |
اندازه گرافیت تغییر می کند | -10~-20 میلی متر |
ضخامت پوشش | مقدار معمولی ≥20um (10±35um) |
عنصر | درصد اتمی | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | میانگین | |
سی ک | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
تا ام | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
به عنوان یک تولید کننده و تامین کننده حرفه ای چاک با پوشش TaC در چین، چاک پوششی TaC VeTek Semiconductor به طور خاص برای کوره های نیمه هادی طراحی شده است. فن آوری نوآورانه Vetek Semiconductor با مقاومت در برابر دمای بالا، بی اثری شیمیایی و عملکرد عالی، راه حلی قابل اعتماد برای صنعت تولید نیمه هادی برای اطمینان از استانداردهای تولید با کیفیت بالا ارائه می دهد. ما معتقدیم که محصولات ما می توانند فناوری پیشرفته و راه حل های محصول با کیفیت بالا را برای شما به ارمغان بیاورند.
ادامه مطلبارسال استعلامبه عنوان یک تولید کننده و تامین کننده حرفه ای لوله پوشش TaC در چین، لوله پوشش TaC VeTek Semiconductor یک جزء کلیدی برای رشد موفقیت آمیز تک کریستال های کاربید سیلیکون است. با مقاومت در برابر دمای بالا، بی اثری شیمیایی و عملکرد عالی، تولید کریستال های با کیفیت بالا را با نتایج ثابت تضمین می کند. به راه حل های نوآورانه ما برای بهبود فرآیند رشد کریستال SiC روش PVT خود و دستیابی به نتایج عالی اعتماد کنید. به پرس و جو از ما خوش آمدید.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor تولید کننده و مبتکر پیشرو بخاری پوششی TaC در چین است. این محصول نقطه ذوب فوق العاده بالایی دارد (حدود 3880 درجه سانتیگراد). نقطه ذوب بالا بخاری پوششی TaC آن را قادر می سازد در دماهای بسیار بالا، به ویژه در رشد لایه های همپایه نیترید گالیوم (GaN) در فرآیند رسوب بخار شیمیایی آلی فلزی (MOCVD) کار کند. VeTek Semiconductor متعهد به ارائه فناوری پیشرفته و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی است. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلندمدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor تولید کننده، مبتکر و رهبر پوشش CVD TAC در چین است. برای سالها، ما بر روی محصولات مختلف پوشش CVD TAC مانند پوشش پوشش CVD TaC، حلقه پوشش CVD TaC، حامل پوشش CVD TaC و غیره تمرکز کردهایم. مشاوره
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor یک تولید کننده حرفه ای صفحه پوشش TaC و سایر قطعات یدکی پوشش TaC در چین است. پوشش TaC در حال حاضر عمدتاً در فرآیندهایی مانند رشد تک کریستال کاربید سیلیکون (روش PVT)، دیسک اپیتاکسیال (از جمله اپیتاکسی کاربید سیلیکون، اپیتاکسی LED) و غیره استفاده می شود. همراه با پایداری طولانی مدت صفحه پوشش TaC، VeTek Semiconductor TaC Coating Plate به معیاری برای قطعات یدکی TaC Coating تبدیل شده است. ما مشتاقانه منتظر هستیم که شما شریک طولانی مدت ما شوید.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor یک تولید کننده حرفه ای از GaN on SiC epi susceptor، پوشش CVD SiC و گیره گرافیت CVD TAC COATING در چین است. در میان آنها، GaN روی گیرنده epi SiC نقش حیاتی در پردازش نیمه هادی ایفا می کند. از طریق هدایت حرارتی عالی، توانایی پردازش در دمای بالا و پایداری شیمیایی، راندمان بالا و کیفیت مواد فرآیند رشد اپیتاکسی GaN را تضمین می کند. ما صمیمانه منتظر مشاوره بیشتر شما هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلام