ماده لایه اپیتاکسیال کاربید سیلیکون کاربید سیلیکون است که معمولاً برای ساخت وسایل الکترونیکی پرقدرت و LED استفاده می شود. به دلیل پایداری حرارتی عالی، استحکام مکانیکی و هدایت الکتریکی بالا، به طور گسترده در صنعت نیمه هادی استفاده می شود.
خلوص بالا: لایه اپیتاکسیال سیلیکونی که توسط رسوب شیمیایی بخار (CVD) رشد میکند، خلوص بسیار بالا، صافی سطح بهتر و تراکم نقص کمتری نسبت به ویفرهای سنتی دارد.
کاربید سیلیکون جامد دارای خواص عالی مانند پایداری در دمای بالا، سختی بالا، مقاومت در برابر سایش خوب و پایداری شیمیایی خوب است، بنابراین طیف وسیعی از کاربردها را دارد. برخی از کاربردهای کاربید سیلیکون جامد به شرح زیر است: