حلقه با پوشش کاربید تانتالیوم

حلقه نیمه هادی با پوشش کاربید تانتالوم VeTek از ساخته شده استگرافیتو با کاربید تانتالیوم پوشانده شده است، ترکیبی که از بهترین خواص هر دو ماده برای اطمینان از عملکرد عالی و طول عمر استفاده می کند. 

پوشش TaC روی حلقه پوشش کاربید تانتالم تضمین می کند که از نظر شیمیایی در اتمسفر واکنش کوره های رشد کریستال SiC که اغلب شامل گازهایی مانند هیدروژن، آرگون و نیتروژن هستند، بی اثر می ماند. این بی اثری شیمیایی برای جلوگیری از هرگونه آلودگی کریستال در حال رشد، که می تواند منجر به نقص و کاهش عملکرد محصولات نیمه هادی نهایی شود، حیاتی است. علاوه بر این، پایداری حرارتی ارائه شده توسط پوشش TaC به حلقه پوششی کاربید تانتالم اجازه می دهد تا در دماهای بالای مورد نیاز برای رشد کریستال SiC، که معمولاً بیش از 2000 درجه سانتیگراد است، به طور موثر عمل کند.

خواص مکانیکی TaC تا حد زیادی سایش و پارگی حلقه پوشش کاربید تانتالم را کاهش می دهد. این امر به دلیل ماهیت تکراری فرآیند رشد کریستال، که حلقه راهنما را در معرض چرخه های حرارتی مکرر و تنش های مکانیکی قرار می دهد، بسیار مهم است. سختی و مقاومت در برابر سایش TaC تضمین می کند که حلقه پوشش دار TaC یکپارچگی ساختاری و ابعاد دقیق خود را در دوره های طولانی حفظ می کند و نیاز به تعویض مکرر را به حداقل می رساند و زمان خرابی در فرآیند تولید را کاهش می دهد. 

علاوه بر این، ترکیب گرافیت و TaC در حلقه پوشش کاربید تانتالم مدیریت حرارتی را در کوره رشد کریستال بهینه می‌کند. رسانایی حرارتی بالای گرافیت به طور موثر گرما را توزیع می کند، از ایجاد نقاط داغ جلوگیری می کند و باعث رشد یکنواخت کریستال می شود. در همین حال، پوشش TaC به عنوان یک مانع حرارتی عمل می کند و از هسته گرافیت در برابر قرار گرفتن مستقیم در معرض دماهای بالا و گازهای واکنش پذیر محافظت می کند. این هم افزایی بین هسته و مواد پوششی منجر به ایجاد یک حلقه راهنما می شود که نه تنها در برابر شرایط سخت مقاومت می کند.رشد کریستال SiCبلکه کارایی و کیفیت کلی فرآیند را نیز افزایش می دهد.

حلقه نیمه هادی با پوشش کاربید تانتالوم VeTek یک جزء ضروری در صنعت نیمه هادی است که به طور خاص برای رشد طراحی شده است.کریستال های سیلیکون کاربید. طراحی آن از نقاط قوت گرافیت و کاربید تانتالیوم برای ارائه عملکرد استثنایی در محیط‌های با دمای بالا و استرس بالا استفاده می‌کند. پوشش TaC بی اثری شیمیایی، دوام مکانیکی و پایداری حرارتی را تضمین می کند که همه اینها برای تولید کریستال های SiC با کیفیت بسیار حیاتی هستند. با حفظ یکپارچگی و عملکرد خود در شرایط سخت، حلقه از رشد کارآمد و بدون نقص کریستال های SiC پشتیبانی می کند و به پیشرفت دستگاه های نیمه هادی پرقدرت و فرکانس بالا کمک می کند.

VeTek Semiconductor تولید کننده و تامین کننده پیشرو استپوشش کاربید تانتالیوم, پوشش کاربید سیلیکونوگرافیت ویژهدر چین ما مدتهاست که متعهد به ارائه فناوری پیشرفته و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی هستیم و صمیمانه امیدواریم که شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.

پوشش کاربید تانتالم (TaC).روی سطح مقطع میکروسکوپی：

مروری برزنجیره صنعت اپیتاکسی تراشه های نیمه هادی：