حامل ویفر گرافیتی با پوشش TaC

VeTek Semiconductor تولید کننده و مبتکر پیشرو حامل ویفر گرافیتی با پوشش TaC و مبتکر در چین است. ما سالها در پوشش SiC و TaC تخصص داشته ایم. حامل ویفر گرافیتی با روکش TaC ما دارای مقاومت در برابر درجه حرارت بالاتر و مقاوم در برابر سایش است. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلندمدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

می‌توانید از خرید حامل ویفر گرافیتی با پوشش TaC سفارشی از VeTek Semiconductor مطمئن باشید. ما مشتاقانه منتظر همکاری با شما هستیم، اگر می خواهید بیشتر بدانید، می توانید اکنون با ما مشورت کنید، ما به موقع به شما پاسخ خواهیم داد!

حامل ویفر گرافیتی با پوشش TaC نیمه هادی VeTek به طور مستقیم با ویفرهای موجود در راکتور اپیتاکسی در تعامل است و کارایی و عملکرد را افزایش می دهد. با گزینه ای از پوشش کاربید سیلیکون یا کاربید تانتالیوم، VeTek Semiconductor TaC Graphite Carrier با پوشش ویفر گرافیتی، طول عمر بیشتری را ارائه می دهد، تا 2 تا 3 برابر بیشتر با کاربید تانتالم. سازگار با مدل‌های مختلف ماشین، از جمله کوره‌های اپیتاکسی LPE SiC، کوره‌های اپیتاکسی JSG، NASO.

حامل گرافیت با پوشش TaC نیمه هادی VeTek استوکیومتری واکنش دقیق را تضمین می کند، از مهاجرت ناخالصی ها جلوگیری می کند و پایداری دما را بیش از 2000 درجه سانتیگراد حفظ می کند. مقاومت قابل توجهی در برابر H2، NH3، SiH4 و Si نشان می دهد و در برابر محیط های شیمیایی خشن محافظت می کند. با مقاومت در برابر شوک های حرارتی، چرخه های عملیاتی سریع را بدون لایه برداری پوشش ممکن می کند.

پوشش TaC نیمه هادی VeTek خلوص فوق العاده بالا را تضمین می کند، ناخالصی ها را از بین می برد، و پوشش همسان را تضمین می کند که تحمل ابعادی دقیق را برآورده می کند. با قابلیت‌های پیشرفته پردازش گرافیت VeTek Semiconductor، ما به نیازهای سفارشی‌سازی شما مجهز شده‌ایم. چه به خدمات پوشش یا راه حل های جامع نیاز داشته باشید، تیم مهندسین متخصص ما آماده طراحی راه حل عالی برای کاربردهای خاص شما هستند. به ما اعتماد کنید تا محصولاتی با کیفیت بالا و متناسب با نیازها و انتظارات شما ارائه دهیم.

روش PVT رشد کریستال SiC

پارامتر محصول حامل ویفر گرافیتی با پوشش TaC

خواص فیزیکی پوشش TaC
تراکم	14.3 (g/cm³)
انتشار ویژه	0.3
ضریب انبساط حرارتی	6.3 10-6/K
سختی (HK)	2000 هنگ کنگ
مقاومت	1×10-5 اهم * سانتی متر
پایداری حرارتی	<2500℃
اندازه گرافیت تغییر می کند	-10~-20 میلی متر
ضخامت پوشش	مقدار معمولی ≥20um (10±35um)