چاک ویفر کاربید سیلیکون

چاک ویفر سیلیکون کاربید نیمه هادی VeTek از خواص عالی مواد کاربید سیلیکون برای برآوردن نیازهای سختگیرانه تولید نیمه هادی ها، به ویژه در پردازش نیمه هادی که به دقت و قابلیت اطمینان بسیار بالایی نیاز دارد، استفاده می کند.

در فرآیند پردازش نیمه هادی،سیلیکون کاربیددارای مقاومت عالی در دمای بالا (می تواند تا 1400 درجه سانتیگراد به طور پایدار کار کند)، رسانایی کم (SiC رسانایی نسبتاً پایینی دارد، معمولاً 10^^-3S/m) و ضریب انبساط حرارتی کم (حدود 4.0 × 10^^-6/°C) که یک ماده ضروری و مهم است، به ویژه برای ساخت چاک ویفر سیلیکون کاربید مناسب است.

در طولفرآیند رشد اپیتاکسیالیک لایه نازک از مواد نیمه هادی بر روی یک بستر قرار می گیرد که برای اطمینان از لایه های رسوب یکنواخت و با کیفیت بالا، نیاز به پایداری مطلق از ویفر دارد. چاک خلاء SiC با ایجاد یک نگهدارنده وکیوم محکم و ثابت برای جلوگیری از هرگونه حرکت یا تغییر شکل ویفر به این امر دست می یابد.

چاک ویفر سیلیکون کاربید نیز مقاومت بسیار خوبی در برابر شوک حرارتی دارد. تغییرات سریع دما در تولید نیمه هادی ها رایج است و موادی که نمی توانند این نوسانات را تحمل کنند ممکن است ترک بخورند، خم شوند یا شکست بخورند. کاربید سیلیکون دارای ضریب انبساط حرارتی پایینی است و می‌تواند شکل و عملکرد خود را حتی تحت تغییرات شدید دما حفظ کند و اطمینان حاصل کند که ویفر در طول فرآیند اپیتاکسی بدون حرکت یا ناهماهنگی ایمن باقی می‌ماند.

علاوه بر این،فرآیند اپیتاکسیاغلب شامل گازهای واکنشی و سایر مواد شیمیایی خورنده است. بی اثر بودن شیمیایی چاک ویفر SiC تضمین می کند که تحت تأثیر این محیط های خشن قرار نمی گیرد و عملکرد آن را حفظ می کند و عمر مفید آن را افزایش می دهد. این دوام شیمیایی نه تنها فرکانس جایگزینی ویفر چاک را کاهش می‌دهد، بلکه عملکرد ثابت محصول را در چرخه‌های تولید متعدد تضمین می‌کند و به بهبود کارایی کلی و مقرون به صرفه بودن فرآیند تولید نیمه‌رسانا کمک می‌کند.

VeTek Semiconductor تولید کننده و تامین کننده محصولات سیلیکن کاربید ویفر چاک در چین است. ما می توانیم انواع مختلفی از محصولات چاک مانندچاک سرامیکی متخلخل SiC, چاک خلاء متخلخل SiC, چاک وکیوم سرامیکی متخلخلوچاک با پوشش TaCو غیره. VeTek Semiconductor متعهد به ارائه فناوری پیشرفته و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی است. ما صمیمانه امیدواریم که شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.

داده های SEM OF CVDساختار کریستالی فیلم SIC：

فروشگاه های چاک ویفر سیلیکون کاربید نیمه هادی VeTek：