بخاری گرافیتی Hot Zone

بخاری های گرافیت نیمه هادی VeTek Hot Zone به گونه ای طراحی شده اند که شرایط سخت موجود در کوره های با دمای بالا را کنترل کنند. بخاری ها بسته به ویژگی های محصول خاص ذکر شده در زیر، قادر به مقاومت در برابر محیط های خشن هستند که معمولاً در پردازش دمای بالا یافت می شوند.

توزیع یکنواخت دما: بخاری گرافیتی Hot Zone به دلیل ویژگی‌های گرمایش یکنواخت عالی خود، به لطف ترکیب کاملی از انتخاب مواد با دقت بالا و فناوری پردازش دقیق، شناخته شده است. چنین یکنواختی توزیع صاف دما را در کل سطح گرمایش تضمین می کند، به طور موثری پردازش ناهموار ویفر را به دلیل گرادیان های حرارتی کاهش می دهد، در نتیجه عملکرد محصول و ثبات عملکرد تجهیزات را بهبود می بخشد.

مقاومت در برابر خوردگی عالی: گرمکن گرافیتی برای Hot Zone مقاومت بالایی در برابر گازهای خورنده و مواد شیمیایی مختلف که در فرآیندهای تولید نیمه هادی در دمای بالا با آن مواجه می شوند از خود نشان می دهد. بی اثر بودن طبیعی مواد گرافیتی به بخاری های گرافیت اجازه می دهد تا پایداری طولانی مدت در محیط های خشن را حفظ کنند و به طور قابل توجهی خطر آلودگی را کاهش داده و عمر مفید تجهیزات را افزایش دهند.

عملکرد عالی ضد اکسیداسیون: در مقایسه با مواد گرافیت سنتی، بخاری گرافیت Hot Zone هنوز هم توانایی ضد اکسیداسیون عالی در دماهای بالا دارد. این ویژگی برای جلوگیری از زوال اکسیداتیو سطح بخاری در طول پردازش در دمای بالا و جلوگیری از تولید آلودگی ذرات در محفظه پردازش بسیار مهم است و از عملکرد کارآمد مداوم تجهیزات اطمینان می دهد.

خلوص شیمیایی فوق العاده بالا: پس از پردازش دقیق، بخاری گرافیت ما به سطح بسیار بالایی از خلوص شیمیایی رسیده است و به طور موثر از ورود ناخالصی های مضر به محیط پردازش نیمه هادی جلوگیری می کند. این خلوص برای محافظت از یکپارچگی مواد نیمه هادی دقیق و تولید دستگاه هایی که خواص الکتریکی و نوری مورد انتظار را برآورده می کنند بسیار مهم است.

استحکام مکانیکی و پایداری بالا: بخاری گرافیت Hot Zone VeTekSemi دارای استحکام مکانیکی و پایداری ابعادی عالی است و یکپارچگی ساختاری را حتی در شرایط عملیاتی با دمای بالا حفظ می کند. گرمکن‌های گرافیتی برای Hot Zone چه با چرخه‌های حرارتی مکرر یا استرس مکانیکی شدید مواجه شوند، استحکام خود را حفظ می‌کنند و پشتیبانی محکم و مطمئنی را برای محیط‌های پردازش نیمه‌رسانای خشن ارائه می‌دهند.

علاوه بر این، VeTeksemi انواع مختلفی از اندازه‌ها و پیکربندی‌های سفارشی بخاری‌های گرافیتی را برای رفع نیازهای فرآیندهای مختلف تولید نیمه‌رسانا ارائه می‌دهد. مانندگرافیت پوشش سرامیکی sicبخاری、بخاری VEECO MOCVDو غیره   VeTek Semiconductor متعهد به ارائه فناوری و راه حل های محصول پیشرفته و قابل تنظیم برای صنعت نیمه هادی است. ما صمیمانه امیدواریم که شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.