پوشش سرامیکی سیلیکون کاربید

به عنوان یک تولید کننده و تامین کننده حرفه ای پوشش سرامیک کاربید سیلیکون در چین، پوشش سرامیک سیلیکون کاربید نیمه هادی Vetek به طور گسترده در اجزای کلیدی تجهیزات تولید نیمه هادی استفاده می شود، به ویژه هنگامی که فرآیندهای CVD و PECVD درگیر هستند. از درخواست خود استقبال کنید

ارسال استعلام

توضیحات محصول

نیمه هادی وتک پوشش سرامیکی سیلیکون کاربیدیک پوشش محافظ با کارایی بالا ساخته شده از ماده بسیار سخت و مقاوم در برابر سایش کاربید سیلیکون (SiC) است که مقاومت بسیار خوبی در برابر خوردگی شیمیایی و پایداری در دمای بالا ارائه می دهد. این ویژگی ها در تولید نیمه هادی ها بسیار مهم هستند، بنابراین پوشش سرامیکی سیلیکون کاربید به طور گسترده در اجزای کلیدی تجهیزات تولید نیمه هادی استفاده می شود.

نقش خاصی که پوشش سرامیک سیلیکون کاربید نیمه هادی Vetek در تولید نیمه هادی ایفا می کندبه شرح زیر:

افزایش دوام تجهیزات: پوشش سرامیکی سیلیکون کاربید با سختی و مقاومت در برابر سایش بسیار بالا، حفاظت سطح عالی را برای تجهیزات تولید نیمه هادی ها فراهم می کند. به خصوص در محیط های فرآیندی با دمای بالا و بسیار خورنده، مانند رسوب بخار شیمیایی (CVD) و اچ پلاسما، پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون می تواند به طور موثری از آسیب به سطح تجهیزات به دلیل فرسایش شیمیایی یا سایش فیزیکی جلوگیری کند و در نتیجه عمر سرویس را به میزان قابل توجهی افزایش دهد. تجهیزات و کاهش زمان خرابی ناشی از تعویض و نگهداری مکرر.

بهبود خلوص فرآیند: در فرآیند تولید نیمه هادی، هر گونه آلودگی کوچک ممکن است باعث نقص محصول شود. بی اثری شیمیایی پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون به آن اجازه می دهد تا در شرایط شدید پایدار بماند، از آزاد شدن ذرات یا ناخالصی ها جلوگیری کند و از خلوص محیط در طول فرآیند اطمینان حاصل کند. این امر به ویژه برای مراحل تولیدی که نیاز به دقت بالا و تمیزی بالا دارند، مانند کاشت PECVD و یون بسیار مهم است.

بهینه سازی مدیریت حرارتی: در پردازش نیمه هادی با دمای بالا، مانند پردازش حرارتی سریع (RTP) و فرآیندهای اکسیداسیون، رسانایی حرارتی بالای پوشش سرامیکی سیلیکون کاربید توزیع یکنواخت دما را در داخل تجهیزات امکان پذیر می کند. این به کاهش تنش حرارتی و تغییر شکل مواد ناشی از نوسانات دما کمک می کند و در نتیجه دقت و قوام ساخت محصول را بهبود می بخشد.

پشتیبانی از محیط فرآیند پیچیده: در فرآیندهایی که نیاز به کنترل اتمسفر پیچیده دارند، مانند فرآیندهای حکاکی ICP و PSS، پایداری و مقاومت در برابر اکسیداسیون بخاری پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون عملکرد پایدار تجهیزات را در عملکرد طولانی مدت تضمین می کند و خطر تخریب مواد یا تجهیزات را کاهش می دهد. آسیب ناشی از تغییرات محیطی

نیمه هادی وتکبر تولید و عرضه با کارایی بالا تمرکز داردپوشش سرامیکی سیلیکون کاربید، و متعهد به ارائه فناوری پیشرفته و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی است.ما صمیمانه امیدواریم که شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.

خواص فیزیکی اساسی ازپوشش سرامیکی سیلیکون کاربید: