گرم کن گرافیتی با پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون

به عنوان یک تولید کننده و تامین کننده بخاری گرافیتی با پوشش سرامیک کاربید سیلیکون حرفه ای در چین، بخاری گرافیتی پوشش سرامیک کاربید سیلیکون یک بخاری با کارایی بالا ساخته شده از بستر گرافیت و پوشش داده شده با پوشش سرامیک کربن سیلیکون (SiC) بر روی سطح آن است. این محصول با طراحی مواد کامپوزیتی خود، راه حل های گرمایشی عالی در تولید نیمه هادی ارائه می دهد. از درخواست خود استقبال کنید

ارسال استعلام

توضیحات محصول

نیمه هادی VeTek گرم کن گرافیتی پوشش سرامیک کاربید سیلیکونرسانایی الکتریکی و حرارتی عالی گرافیت را با مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی و مقاومت در برابر سایش پوشش سرامیکی کربن سیلیکونی ترکیب می کند و برای محیط های خشن تولید نیمه هادی طراحی شده است.

گرم کن گرافیتی با پوشش سرامیک کاربید سیلیکونعمدتاً در تجهیزات پوشش خلاء (تبخیر) استفاده می شود و روش های معمول مورد استفاده PCD (خشک کردن شیمیایی پلاسما) و PVD (رسوب بخار فیزیکی) است. این محصول نقش مهمی در ارتقای پیشرفت تکنولوژی و بهبود راندمان تولید در صنعت نیمه هادی ایفا کرده است.ما صمیمانه منتظر همکاری بیشتر با شما هستیم.

ویژگی های جنس و ساختار هیتر گرافیتی پوشش سرامیک کاربید سیلیکون به شرح زیر است.:

بستر گرافیت: گرافیت به دلیل رسانایی حرارتی بالا و ضریب انبساط حرارتی پایین معروف است. می تواند به سرعت به تغییرات دما پاسخ دهد و پایداری ساختاری را در دماهای بالا حفظ کند.

پوشش سیلیکون کربن سرامیک: پوشش SiC از طریق رسوب بخار شیمیایی یا سایر فرآیندهای پیشرفته به طور یکنواخت روی سطح گرافیت پوشش داده می شود. SiC دارای سختی بسیار بالا و مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی است که می تواند از بستر گرافیت در برابر اکسیداسیون با دمای بالا و محیط های خورنده محافظت کند.

طراحی ساختاری محصول ویژه هیتر گرافیتی پوشش سرامیک کاربید سیلیکون را تعیین می کندمزایای غیر قابل تعویض محصول این محصول در فرآیند پردازش نیمه هادی است:

گرمایش کارآمد و یکنواخت:

هدایت حرارتی: رسانایی حرارتی بالای گرافیت بخاری را قادر می سازد تا به سرعت به دمای مورد نیاز برسد و آن را حفظ کند و پوشش SiC توزیع یکنواخت گرما را تضمین می کند. این امر به ویژه برای فرآیندهای نیمه هادی که نیاز به کنترل دقیق دما دارند، مانند پردازش سریع حرارتی (RTP) و رسوب بخار شیمیایی (CVD) مهم است.

یکنواختی دما: از طریق توزیع یکنواخت گرما، گرم کن گرافیتی پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون می تواند به طور موثر تنش حرارتی و گرادیان دما را کاهش دهد و از ثبات و ثبات کیفیت ویفرهای نیمه هادی در طول فرآیند گرمایش اطمینان حاصل کند.

محافظت در برابر خوردگی:

مقاومت شیمیایی: مقاومت شیمیایی پوشش SiC در برابر خوردگی، بخاری را قادر می سازد تا در محیط های گازی و شیمیایی خورنده پایدار و برای مدت طولانی کار کند و از آسیب به بستر گرافیت جلوگیری کند. این ویژگی به ویژه در فرآیندهایی مانند رسوب بخار شیمیایی (CVD) و رسوب دهی بخار شیمیایی افزایش یافته پلاسما (PECVD) حیاتی است.

مقاومت در برابر اکسیداسیون: در دماهای بالا، پوشش SiC می تواند از اکسید شدن بستر گرافیت جلوگیری کند، عمر مفید بخاری را افزایش دهد و فرکانس و هزینه تعمیر و نگهداری تجهیزات را کاهش دهد.

آلودگی ذرات را کاهش دهید:

پایداری سطح: پوشش SiC نه تنها در برابر سایش مقاوم است، بلکه از ریزش ذرات از سطح مواد به دلیل چرخه حرارتی یا واکنش های شیمیایی جلوگیری می کند، در نتیجه خطر آلودگی ذرات را که ممکن است در طول ساخت نیمه هادی رخ دهد کاهش می دهد و محیط فرآیند با تمیزی بالا را تضمین می کند.

بهبود قابلیت اطمینان و کارایی فرآیند:

طراحی با عمر طولانی: با توجه به ترکیبی از استحکام مکانیکی گرافیت و مقاومت در برابر سایش پوشش SiC، گرم کن گرافیتی پوشش سرامیک کاربید سیلیکون می تواند عملکرد با راندمان بالا را برای مدت طولانی تحت شرایط فرآیند سخت حفظ کند و به طور قابل توجهی قابلیت اطمینان کلی تجهیزات را بهبود بخشد.

استفاده کارآمد از انرژی: هدایت حرارتی بالای گرافیت و پایداری پوشش SiC در دمای بالا، بخاری را قادر می سازد مصرف انرژی را کاهش دهد و در عین حال دقت کنترل دما را بهبود بخشد و در نتیجه راندمان کلی تولید نیمه هادی را بهبود بخشد.

خواص فیزیکی اساسی ازگرم کن گرافیتی پوشش سرامیک کاربید سیلیکون: