بخاری با پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون

نیمه هادی VeTekبخاری پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون یک بخاری است که برای دمای بالا و محیط های سخت طراحی شده است. لایه ای از پوشش سرامیک کربن سیلیکونی (SiC) را روی سطح عنصر گرمایش می پوشاند تا مقاومت حرارتی عالی، مقاومت در برابر خوردگی و هدایت حرارتی را به تجهیزات بدهد. 

بخاری با پوشش سرامیکی کاربید سیلیکونعمدتا در تجهیزات پوشش خلاء (تبخیر) استفاده می شود. روش های رایج مورد استفاده PCD (خشک کردن شیمیایی پلاسما) و PVD (رسوب بخار فیزیکی) هستند که به طور گسترده در ساخت نیمه هادی ها و سایر کاربردهای صنعتی با تقاضای بالا استفاده می شوند.

ترکیب با طراحی پوشش با کارایی بالا بخاری پوشش سرامیکی سیلیکون کاربید،می تواند یک راه حل گرمایش عالی برای فرآیندهای با دمای بالا ارائه دهد.

هدایت حرارتی عالی: مواد SiC دارای رسانایی حرارتی عالی است و اطمینان حاصل می کند که بخاری می تواند به توزیع یکنواخت گرما در منطقه کار دست یابد و گرادیان دما را کاهش دهد.

توزیع یکنواخت گرما را فراهم کنید: بخاری پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون از رسانایی حرارتی بالای مواد SiC برای دستیابی به توزیع یکنواخت دما در سراسر منطقه گرمایش استفاده می کند. این امر برای اطمینان از عملیات حرارتی یکنواخت ویفرهای نیمه هادی در فرآیندهای مختلف با دمای بالا مانند پردازش حرارتی سریع (RTP)، انتشار و اکسیداسیون، اجتناب از عیوب محصول ناشی از گرمای بیش از حد موضعی یا دمای ناهموار ضروری است.

تحمل دمای بالا: پوشش SiC بخاری را قادر می سازد تا دماهای بسیار بالا، معمولاً تا 1600 درجه سانتیگراد را تحمل کند، که برای فرآیندهای مختلف پردازش در دمای بالا مناسب است.

مقاومت در برابر حرارت را بهبود بخشید: از آنجایی که پوشش می تواند دمای بسیار بالا را تحمل کند، در فرآیندهایی که نیاز به عملیات طولانی مدت در دمای بالا دارند، عملکرد خوبی دارد. به عنوان مثال، در فرآیندهای رسوب بخار شیمیایی (CVD)، بخاری پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون می تواند عملکرد پایدار طولانی مدت تجهیزات را در دماهای بالا تضمین کند و عملکرد گرمایش ثابت را حفظ کند، در نتیجه تکرارپذیری و قابلیت اطمینان فرآیند را بهبود می بخشد.

مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی: پوشش SiC مقاومت بسیار بالایی در برابر گازهای اسیدی، قلیایی و خورنده دارد و می تواند برای مدت طولانی در محیط پیچیده اتمسفر شیمیایی پایدار بماند و عمر تجهیزات را افزایش دهد. 

افزایش عمر تجهیزات: پوشش SiC دارای مقاومت عالی در برابر اکسیداسیون و مقاومت در برابر خوردگی است و می تواند به طور موثر در برابر فرسایش شیمیایی و اکسیداسیون در دماهای بالا مقاومت کند. این امر در فرآیند تولید نیمه هادی بسیار مهم است، به ویژه در محیطی که گازهای خورنده و مواد شیمیایی را کنترل می کند. اثر محافظتی پوشش می تواند به طور قابل توجهی طول عمر بخاری را افزایش دهد و دفعات تعویض تجهیزات و هزینه های تعمیر و نگهداری را کاهش دهد.

خواص فیزیکی پایه بخاری پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون:

فروشگاه های بخاری با پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون نیمه هادی VeTek:

مروری بر زنجیره صنعت اپیتاکسی تراشه نیمه هادی VeTek: