نیمه هادی VeTek تولید کننده پیشرو مواد پوشش کاربید تانتالم برای صنعت نیمه هادی است. محصولات اصلی ما شامل قطعات پوشش کاربید تانتالم CVD، قطعات پوشش TaC متخلخل شده برای رشد کریستال SiC یا فرآیند اپیتاکسی نیمه هادی است. با تصویب ISO9001، نیمه هادی VeTek کنترل خوبی بر کیفیت دارد. نیمه هادی VeTek برای تبدیل شدن به مبتکر در صنعت پوشش کاربید تانتالم از طریق تحقیق و توسعه مداوم فناوری های تکراری اختصاص داده شده است.
محصولات اصلی هستندحلقه ناقص پوشش کاربید تانتالیوم، حلقه انحرافی با پوشش TaC، قطعات نیمه ماه با پوشش TaC، دیسک چرخش سیاره ای با پوشش کاربید تانتالم (Aixtron G10)، بوته با پوشش TaC. حلقه های با پوشش TaC; گرافیت متخلخل با پوشش TaC; گیره گرافیتی پوشش کاربید تانتالم; حلقه راهنما با پوشش TaC; صفحه پوشش داده شده با کاربید تانتالم TaC; گیرنده ویفر با پوشش TaC; حلقه پوشش TaC; پوشش گرافیتی پوشش TaC; تکه با پوشش TaCو غیره، خلوص زیر 5ppm است، می تواند نیازهای مشتری را برآورده کند.
گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح یک بستر گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز کاربید تانتالیوم توسط فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد می شود. مزیت آن در تصویر زیر نشان داده شده است:
پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) به دلیل نقطه ذوب بالای آن تا 3880 درجه سانتیگراد، استحکام مکانیکی عالی، سختی و مقاومت در برابر شوک های حرارتی مورد توجه قرار گرفته است و آن را به جایگزینی جذاب برای فرآیندهای اپیتاکسی نیمه هادی مرکب با شرایط دمایی بالاتر تبدیل کرده است. مانند سیستم Aixtron MOCVD و فرآیند اپیتاکسی LPE SiC. همچنین کاربرد گسترده ای در فرآیند رشد کریستال SiC روش PVT دارد.
پایداری دما
خلوص فوق العاده بالا
مقاومت در برابر H2، NH3، SiH4، Si
مقاومت در برابر استوک حرارتی
چسبندگی قوی به گرافیت
پوشش پوششی منسجم
اندازه تا قطر 750 میلی متر (تنها سازنده در چین به این اندازه می رسد)
حامل ویفر
گیرنده گرمایش القایی
المنت حرارتی مقاومتی
دیسک ماهواره
سر دوش
حلقه راهنما
گیرنده LED Epi
نازل تزریق
حلقه ماسک
سپر حرارتی
خواص فیزیکی پوشش TaC | |
تراکم | 14.3 (g/cm³) |
انتشار ویژه | 0.3 |
ضریب انبساط حرارتی | 6.3 10-6/ ک |
سختی (HK) | 2000 هنگ کنگ |
مقاومت | 1×10-5اهم * سانتی متر |
پایداری حرارتی | <2500℃ |
اندازه گرافیت تغییر می کند | -10~-20 میلی متر |
ضخامت پوشش | مقدار معمولی ≥20um (10±35um) |
عنصر | درصد اتمی | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | میانگین | |
سی ک | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
تا ام | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
صفحه چرخشی پوشش TaC نیمه هادی VeTek دارای یک پوشش TaC برجسته است، با پوشش استثنایی TaC، صفحات چرخشی پوشش TaC دارای مقاومت قابل توجه در دمای بالا و بی اثری شیمیایی هستند که آن را از راه حل های سنتی متمایز می کند. ما متعهد به ارائه محصولات با کیفیت در رقابت هستیم. قیمت ها و مشتاقانه منتظر شریک طولانی مدت شما در چین باشید.
ادامه مطلبارسال استعلامصفحه پوششی TaC نیمه هادی VeTek محصولی قابل توجه است که ویژگی ها و مزایای استثنایی را ارائه می دهد. صفحه پوشش TaC ما که با دقت طراحی و مهندسی شده است، به طور خاص برای کاربردهای مختلف در فرآیندهای رشد تک کریستال کاربید سیلیکون (SiC) طراحی شده است. و عملکرد کارآمد عملکرد قابل اعتماد و پوشش با کیفیت بالا به نتایج ثابت و یکنواخت در کاربردهای رشد کریستال SiC کمک می کند.
ادامه مطلبارسال استعلامپوشش پوشش CVD TaC ارائه شده توسط VeTek Semiconductor یک جزء بسیار تخصصی است که به طور خاص برای برنامه های کاربردی طراحی شده است. پوشش پوشش CVD TaC ما با ویژگی های پیشرفته و عملکرد استثنایی خود چندین مزیت کلیدی را ارائه می دهد. پوشش پوشش CVD TaC ما حفاظت و عملکرد لازم برای موفقیت را فراهم می کند. ما مشتاقانه منتظر بررسی همکاری بالقوه با شما هستیم!
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor یک محصول استثنایی برای تجهیزات اپیتاکسی Aixtron است. پوشش قوی TaC مقاومت عالی در برابر دمای بالا و بی اثری شیمیایی را ارائه می دهد. این ترکیب منحصر به فرد عملکرد قابل اعتماد و عمر طولانی را حتی در محیط های سخت تضمین می کند. VeTek متعهد به ارائه محصولات با کیفیت بالا و خدمت به عنوان یک شریک طولانی مدت در بازار چین با قیمت رقابتی است.
ادامه مطلبارسال استعلامصفحه پشتی پایه روکش TaC VeTek Semiconductor's Semiconductor's TaC یک محصول با دقت بالا است که برای برآوردن نیازهای خاص فرآیندهای اپیتاکسی نیمه هادی طراحی شده است. با پوشش TaC، مقاومت در برابر دمای بالا و بی اثری شیمیایی، محصول ما به شما این امکان را می دهد که لایه های EPI با کیفیت بالا را با کیفیت بالا تولید کنید. ما متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی هستیم و مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.
ادامه مطلبارسال استعلامچاک پوششی TaC نیمه هادی VeTek دارای یک پوشش TaC با کیفیت بالا است که به دلیل مقاومت فوق العاده در دمای بالا و بی اثری شیمیایی، به ویژه در فرآیندهای اپیتاکسی کاربید سیلیکون (SiC) (EPI) شناخته شده است. چاک پوششی TaC ما با ویژگیهای استثنایی و عملکرد عالی خود چندین مزیت کلیدی را ارائه میدهد.
ادامه مطلبارسال استعلام