GaN روی گیرنده epi SiC

به عنوان یک حرفه ایتولید کننده نیمه هادیدر چین،نیمه هادی VeTek GaN روی گیرنده epi SiCیک جزء کلیدی در فرآیند آماده سازی استGaN روی SiCدستگاه ها، و عملکرد آن به طور مستقیم بر کیفیت لایه اپیتاکسیال تأثیر می گذارد. با کاربرد گسترده GaN بر روی دستگاه های SiC در الکترونیک قدرت، دستگاه های RF و سایر زمینه ها، الزامات مورد نیاز برایگیرنده SiC epiبالاتر و بالاتر خواهد رفت. VeTek Semiconductor بر ارائه فناوری نهایی و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی تمرکز دارد و از مشاوره شما استقبال می کند.

به طور کلی، نقشGaN روی گیرنده epi SiCدر پردازش نیمه هادی به شرح زیر است:

قابلیت پردازش در دمای بالا: GaN روی گیرنده epi SiC (GaN بر اساس دیسک رشد همپایه کاربید سیلیکون) عمدتاً در فرآیند رشد همپایه نیترید گالیوم (GaN) به‌ویژه در محیط‌های با دمای بالا استفاده می‌شود. این دیسک رشد اپیتاکسیال می تواند دماهای پردازش بسیار بالا، معمولا بین 1000 درجه سانتیگراد تا 1500 درجه سانتیگراد را تحمل کند، که آن را برای رشد همپایی مواد GaN و پردازش زیرلایه های کاربید سیلیکون (SiC) مناسب می کند.

هدایت حرارتی عالی: گیرنده SiC epi باید رسانایی حرارتی خوبی داشته باشد تا به طور یکنواخت گرمای تولید شده توسط منبع گرمایش را به بستر SiC منتقل کند تا از یکنواختی دما در طول فرآیند رشد اطمینان حاصل شود. کاربید سیلیکون رسانایی حرارتی بسیار بالایی دارد (حدود 120-150 W/mK)، و GaN روی گیرنده SiC epi می‌تواند گرما را به طور مؤثرتری نسبت به مواد سنتی مانند سیلیکون هدایت کند. این ویژگی در فرآیند رشد اپیتاکسیال نیترید گالیوم بسیار مهم است زیرا به حفظ یکنواختی دمای بستر کمک می کند و در نتیجه کیفیت و قوام فیلم را بهبود می بخشد.

جلوگیری از آلودگی: فرآیند تصفیه مواد و سطح GaN بر روی گیرنده epi SiC باید بتواند از آلودگی محیط رشد جلوگیری کرده و از ورود ناخالصی ها به لایه اپیتاکسیال جلوگیری کند.

به عنوان یک تولید کننده حرفه ای ازGaN روی گیرنده epi SiC, گرافیت متخلخلوصفحه پوشش TaCدر چین، VeTek Semiconductor همیشه بر ارائه خدمات محصول سفارشی اصرار دارد و متعهد است که صنعت را با فناوری های برتر و راه حل های محصول ارائه کند. ما صمیمانه منتظر مشاوره و همکاری شما هستیم.

خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC:

GaN در فروشگاه های تولید گیرنده epi SiC:

مروری بر زنجیره صنعت اپیتاکسی تراشه های نیمه هادی：