صفحه چرخشی پوشش TaC

صفحه چرخشی پوشش TaC نیمه هادی VeTek دارای ترکیب خلوص بالا، محتوای ناخالصی کمتر از 5ppm و ساختار متراکم و یکنواخت است که به طور گسترده در سیستم های LPE EPI، سیستم های Aixtron، سیستم های Nuflare، سیستم های TEL CVD، سیستم های VEECO، TSI استفاده می شود. سیستم ها

خواص مکانیکی عالی:

سختی پوشش تا 2300HV، با مقاومت در برابر سایش عالی.

چسبندگی بین پوشش و زیرلایه قوی است و افتادن یا کندن آن آسان نیست.

پوشش همچنان می تواند پایداری ساختاری خوبی را در دمای بالا حفظ کند.

مقاومت در برابر خوردگی عالی:

خود ماده TaC دارای ثبات شیمیایی و مقاومت در برابر خوردگی عالی است.

پوشش های نیمه هادی VeTek در انواع محیط های گازی تهاجمی عملکرد خوبی دارند.

می تواند به طور موثر از اجزای داخلی تجهیزات در برابر آسیب خوردگی محافظت کند.

پرداخت سطح بالا:

نیمه هادی VeTek از یک فرآیند پوشش دقیق برای تولید پایان مورد نظر استفاده می کند.

زبری سطح کم به کاهش تجمع و رسوب ذرات کمک می کند.

قوام پوشش خوب است:

نیمه هادی VeTekدارای یک سیستم کنترل کیفیت صدا برای اطمینان از عملکرد ثابت بین دسته ها است.

ضخامت پوشش به طور مساوی توزیع شده است و هیچ عیب محلی آشکاری وجود ندارد.

عملکرد عالی برنامه کاربردی:

پوشش TaC نیمه هادی VeTek به طور گسترده در بسیاری از تولید کنندگان تجهیزات اپیتاکسیال معروف در داخل و خارج از کشور استفاده می شود.

پارامتر فیزیکی محصول صفحه چرخشی پوشش دار TaC: