قسمت نیمه ماه با پوشش کاربید تانتالم برای LPE

نیمه هادی VeTek یک قطعه نیمه ماه با پوشش کاربید تانتالم در مقیاس بزرگ برای تولید کننده و مبتکر LPE در چین است. ما سال هاست در پوشش TaC تخصص داشته ایم. محصولات ما می توانند دمای بالای 2000 درجه سانتیگراد را تحمل کنند و طول عمر مواد مصرفی را افزایش دهند. ما مشتاقانه منتظر هستیم. برای تبدیل شدن به شریک طولانی مدت شما در چین.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

به عنوان سازنده حرفه ای، نیمه هادی VeTek مایل است قطعه نیمه ماه با پوشش کاربید تانتالم با کیفیت بالا برای LPE را در اختیار شما قرار دهد.

VeTek Semiconductor یک پیشرو حرفه ای پوشش SiC، TaC چین، تولید کننده SiC جامد با کیفیت بالا و قیمت مناسب است. قسمت نیمه ماه روکش شده با کاربید تانتالم ما برای LPE در محفظه واکنش تجهیزات اپیتاکسی افقی و عمودی برای حمل بستر، کنترل دما، گرما استفاده می شود. حفظ، تهویه، حفاظت و سایر عملکردها، به طوری که به طور مشترک ضخامت، دوپینگ، عیوب و سایر ویژگی های مواد رشد لایه اپیتاکسی SiC در داخل محفظه واکنش را کنترل کنیم.

محصولات مرتبط با نیمه هادی VeTek: نیمه ماه بالا، نیمه ماه پایین، پوشش محافظ، پوشش عایق، رابط انحراف هوای فرآیند. شرکت ما متعهد است که طیف کاملی از راه حل های اجزای پوشش داده شده با SiC و TaC با محفظه واکنش را به مشتریان ارائه دهد.

پارامتر محصول قسمت نیمه ماه با پوشش کاربید تانتالیوم برای LPE

خواص فیزیکی پوشش TaC
تراکم	14.3 (g/cm³)
انتشار ویژه	0.3
ضریب انبساط حرارتی	6.3 10-6/K
سختی (HK)	2000 هنگ کنگ
مقاومت	1×10-5 اهم * سانتی متر
پایداری حرارتی	<2500℃
اندازه گرافیت تغییر می کند	-10~-20 میلی متر
ضخامت پوشش	مقدار معمولی ≥20um (10±35um)