چاک با روکش کاربید تانتالیوم

VeTek Semiconductor یک تولید کننده و مبتکر پیشرو چاک با روکش کاربید تانتالم در چین است. ما سال هاست در پوشش TaC تخصص داشته ایم. محصولات ما دارای خلوص بالا و مقاومت در برابر درجه حرارت بالا تا 2000 درجه سانتیگراد هستند. ما مشتاقانه منتظر هستیم که طولانی مدت شما باشیم. شریک در چین

ارسال استعلام

توضیحات محصول

VeTek Semiconductor چاک با پوشش کاربید تانتالوم با کیفیت بالا، قطعات پوشش SiC با قیمت رقابتی را عرضه می کند. به ما خوش آمدید. این لوازم جانبی کارایی و کیفیت را در ساخت نیمه هادی ها افزایش می دهد و عملکرد و قابلیت اطمینان فوق العاده ای را ارائه می دهد.

این چاک که از مواد با کیفیت بالا ساخته شده و با دقت ساخته شده است، دارای یک بستر گرافیتی است که با کاربید تانتالم CVD (TaC) پوشانده شده است. این پوشش پایداری حرارتی عالی، خلوص بالا و مقاومت در برابر دماهای بالا را فراهم می کند. عملکرد قابل اعتماد را در شرایط سخت فرآیندهای MOCVD تضمین می کند.

چاک برای قرار دادن اندازه های مختلف ویفر نیمه هادی قابل تنظیم است و آن را برای نیازهای مختلف تولید مناسب می کند. ساختار مستحکم آن زمان خرابی و هزینه‌های نگهداری مرتبط با حامل‌ها و گیرنده‌های ویفر را به حداقل می‌رساند.

سیستم AIXTRON G10 MOCVD با چاک نیمه هادی با روکش کاربید تانتالوم VeTek به کارایی بالاتر و نتایج برتر در تولید نیمه هادی دست می یابد. پایداری حرارتی استثنایی، سازگاری با اندازه های مختلف ویفر و عملکرد قابل اعتماد آن را به ابزاری ضروری برای بهینه سازی راندمان تولید و دستیابی به نتایج برجسته در محیط چالش برانگیز MOCVD تبدیل کرده است.

پارامتر محصول چاک با روکش کاربید تانتالیوم

خواص فیزیکی پوشش TaC
تراکم	14.3 (g/cm³)
انتشار ویژه	0.3
ضریب انبساط حرارتی	6.3 10-6/K
سختی (HK)	2000 هنگ کنگ
مقاومت	1×10-5 اهم * سانتی متر
پایداری حرارتی	<2500℃
اندازه گرافیت تغییر می کند	-10~-20 میلی متر
ضخامت پوشش	مقدار معمولی ≥20um (10±35um)