قطعه یدکی پوشش TaC

VeTek Semiconductor یک تولید کننده حرفه ای صفحه پوشش TaC و سایر قطعات یدکی پوشش TaC در چین است. پوشش TaC در حال حاضر عمدتاً در فرآیندهایی مانند رشد تک کریستال کاربید سیلیکون (روش PVT)، دیسک اپیتاکسیال (از جمله اپیتاکسی کاربید سیلیکون، اپیتاکسی LED) و غیره استفاده می شود. همراه با پایداری طولانی مدت صفحه پوشش TaC، VeTek Semiconductor TaC Coating Plate به معیاری برای قطعات یدکی TaC Coating تبدیل شده است. ما مشتاقانه منتظر هستیم که شما شریک طولانی مدت ما شوید.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

نیمه هادی VeTekصفحه پوشش TaCیک ماده خاص است که به طور گسترده درنیمه هادیفرآیند تولید صفحه پوششی TaC همراه با سختی و مقاومت در برابر سایش بالا، مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، ضریب اصطکاک کم و هدایت حرارتی خوب، نقش غیر قابل جایگزینی را در بسیاری از پیوندهای پردازش نیمه هادی ایفا می کند.

به طور کلی، برنامه های کاربردی ازصفحات با پوشش TaCدر پردازش نیمه هادی به شرح زیر است:

بستر رشد CVD/ALDمقاومت در برابر دمای بالا، پایداری شیمیایی و ضریب اصطکاک پایین صفحات پوشش داده شده TaC آنها را به بسترهای رشد CVD/ALD ایده آل تبدیل می کند. این می تواند یک محیط رشد پایدار برای اطمینان از یکنواختی و چگالی فیلم فراهم کند.

صفحه ماسک اچینگ: سختی بالا و مقاومت در برابر خوردگی صفحات با پوشش TaC آنها را قادر می سازد تا در برابر فرآیندهای پرانرژی مانند اچ پلاسما، به عنوان صفحات ماسک اچینگ، مقاومت کنند و از فیلم زیرین محافظت کنند.

پد پولیش CMP: مقاومت در برابر سایش و ضریب اصطکاک پایین صفحات با پوشش TaC آنها را به مواد ایده آلی برای لنت های پولیش CMP تبدیل می کند که می تواند ذرات و عیوب روی سطح فیلم را به طور موثر حذف کند.

لوله کوره با دمای بالا: مقاومت در برابر دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی صفحات پوشش داده شده TaC آنها را قادر می سازد تا به عنوان لوله کوره در کوره های با دمای بالا برای آنیل کردن، انتشار و سایر فرآیندها در دمای بالا استفاده شوند.

همراه با ویژگی های محصول ازصفحه پوشش TaC، مشخص می کند که این محصول نقش کلیدی غیر قابل جایگزینی در بهبود عملکرد دستگاه، افزایش عمر تجهیزات و بهبود راندمان تولید ایفا می کند.

به عنوان یک تولید کننده حرفه ای ازGaN روی گیرنده epi SiC, گرافیت متخلخلوصفحه پوشش TaCدر چین، VeTek Semiconductor همیشه بر ارائه خدمات محصول سفارشی اصرار دارد و متعهد است که صنعت را با فناوری های برتر و راه حل های محصول ارائه کند. ما صمیمانه منتظر مشاوره بیشتر شما هستیم.

پارامترهای فنی پوشش CVD TAC：