حامل پوشش CVD TaC VeTek Semiconductor عمدتا برای فرآیند همپایی تولید نیمه هادی طراحی شده است. نقطه ذوب فوق العاده بالا حامل CVD TaC Coating، مقاومت در برابر خوردگی عالی و پایداری حرارتی فوق العاده، ضروری بودن این محصول را در فرآیند همپایی نیمه هادی تعیین می کند. ما صمیمانه امیدواریم که بتوانیم یک رابطه تجاری طولانی مدت با شما ایجاد کنیم.
VeTek Semiconductor یک حامل پوشش CVD TaC چین، EPITAXY SUSCEPTOR، پیشرو حرفه ای است.گیرنده گرافیت با پوشش TaCسازنده
از طریق تحقیقات مداوم در فرآیند و نوآوری مواد، حامل پوشش CVD TaC Vetek Semiconductor نقش بسیار مهمی در فرآیند همپایی ایفا می کند، که عمدتاً شامل جنبه های زیر است:
حفاظت از بستر: حامل پوشش CVD TaC پایداری شیمیایی و پایداری حرارتی عالی را فراهم می کند و به طور موثر از فرسایش زیرلایه و دیواره داخلی راکتور توسط گازهای خورنده و دمای بالا جلوگیری می کند و خلوص و پایداری محیط فرآیند را تضمین می کند.
یکنواختی حرارتی: همراه با رسانایی حرارتی بالای حامل پوشش CVD TaC، یکنواختی توزیع دما را در راکتور تضمین می کند، کیفیت کریستال و یکنواختی ضخامت لایه همپایی را بهینه می کند و قوام عملکرد محصول نهایی را افزایش می دهد.
کنترل آلودگی ذراتاز آنجایی که حامل های با پوشش CVD TaC نرخ تولید ذرات بسیار پایینی دارند، خواص سطح صاف به طور قابل توجهی خطر آلودگی ذرات را کاهش می دهد و در نتیجه خلوص و عملکرد را در طول رشد همپایی بهبود می بخشد.
عمر تجهیزات افزایش یافته است: همراه با مقاومت عالی در برابر سایش و مقاومت در برابر خوردگی حامل پوشش CVD TaC، عمر مفید اجزای محفظه واکنش را به میزان قابل توجهی افزایش می دهد، زمان خرابی تجهیزات و هزینه های تعمیر و نگهداری را کاهش می دهد و راندمان تولید را بهبود می بخشد.
با ترکیب ویژگی های فوق، حامل پوشش CVD TaC VeTek Semiconductor نه تنها قابلیت اطمینان فرآیند و کیفیت محصول را در فرآیند رشد همپایه بهبود می بخشد، بلکه یک راه حل مقرون به صرفه برای تولید نیمه هادی ها ارائه می دهد.
پوشش کاربید تانتالیوم روی سطح مقطع میکروسکوپی:
خواص فیزیکی حامل پوشش CVD TaC:
خواص فیزیکی پوشش TaC |
|
تراکم |
14.3 (g/cm³) |
انتشار ویژه |
0.3 |
ضریب انبساط حرارتی |
6.3*10-6/ ک |
سختی (HK) |
2000 هنگ کنگ |
مقاومت |
1×10-5اهم * سانتی متر |
پایداری حرارتی |
<2500℃ |
اندازه گرافیت تغییر می کند |
-10~-20 میلی متر |
ضخامت پوشش |
مقدار معمولی ≥20um (10±35um) |
فروشگاه تولید پوشش نیمه هادی وتک سی وی دی سی سی: