گیرنده MOCVD با پوشش TaC

VeTek Semiconductor یک تامین کننده جامع در زمینه تحقیق، توسعه، تولید، طراحی و فروش پوشش های TaC و قطعات پوشش SiC است. تخصص ما در تولید پیشرفته ترین سوسپتور MOCVD با پوشش TaC است که نقشی حیاتی در فرآیند اپیتاکسی LED ایفا می کند. از شما استقبال می کنیم تا در مورد سوالات و اطلاعات بیشتر با ما صحبت کنید.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

VeTek Semiconductor یک تولید کننده، تامین کننده و صادر کننده پیشرو چینی است که متخصص در MOCVD Susceptor با پوشش TaC است. از شما استقبال می شود که برای خرید جدیدترین گیره های MOCVD با فروش TaC با قیمت پایین و با کیفیت بالا به کارخانه ما بیایید. ما مشتاقانه منتظر همکاری با شما هستیم.

اپیتاکسی LED با چالش هایی مانند کنترل کیفیت کریستال، انتخاب و تطبیق مواد، طراحی و بهینه سازی سازه، کنترل و سازگاری فرآیند و کارایی استخراج نور مواجه است. انتخاب مواد حامل ویفر اپیتاکسی مناسب بسیار مهم است و پوشش آن با لایه نازک کاربید تانتالم (TaC) (پوشش TaC) مزایای بیشتری را به همراه دارد.

هنگام انتخاب یک ماده حامل ویفر اپیتاکسی، چندین فاکتور کلیدی باید در نظر گرفته شود:

تحمل دما و پایداری شیمیایی: فرآیندهای اپیتاکسی LED شامل دمای بالا و ممکن است شامل استفاده از مواد شیمیایی باشد. بنابراین لازم است موادی با تحمل دما و پایداری شیمیایی خوب انتخاب شود تا از پایداری حامل در محیط های با دمای بالا و شیمیایی اطمینان حاصل شود.

صافی سطح و مقاومت در برابر سایش: سطح حامل ویفر اپیتاکسی باید صافی خوبی داشته باشد تا از تماس یکنواخت و رشد پایدار ویفر اپیتاکسی اطمینان حاصل شود. علاوه بر این، مقاومت در برابر سایش برای جلوگیری از آسیب سطح و سایش مهم است.

رسانایی حرارتی: انتخاب ماده ای با رسانایی حرارتی خوب به دفع موثر گرما، حفظ دمای رشد پایدار برای لایه اپیتاکسی و بهبود پایداری و قوام فرآیند کمک می کند.

در این راستا، پوشش دادن ویفر حامل اپیتاکسی با TaC مزایای زیر را ارائه می دهد:

پایداری در دمای بالا: پوشش TaC پایداری عالی در دمای بالا را نشان می‌دهد و به آن اجازه می‌دهد ساختار و عملکرد خود را در طول فرآیندهای اپیتاکسی در دمای بالا حفظ کند و تحمل دمایی عالی را ارائه دهد.

پایداری شیمیایی: پوشش TaC در برابر خوردگی ناشی از مواد شیمیایی رایج و اتمسفر مقاوم است، از حامل در برابر تخریب شیمیایی محافظت می کند و دوام آن را افزایش می دهد.

سختی و مقاومت در برابر سایش: پوشش TaC دارای سختی و مقاومت در برابر سایش است، سطح حامل ویفر اپیتاکسی را تقویت می کند، آسیب و سایش را کاهش می دهد و طول عمر آن را افزایش می دهد.

هدایت حرارتی: پوشش TaC هدایت حرارتی خوبی را نشان می‌دهد، به اتلاف گرما کمک می‌کند، دمای رشد پایدار را برای لایه اپیتاکسی حفظ می‌کند و ثبات و قوام فرآیند را بهبود می‌بخشد.

بنابراین، انتخاب یک حامل ویفر اپیتاکسی با پوشش TaC به رفع چالش‌های اپیتاکسی LED کمک می‌کند و نیازهای محیط‌های با دمای بالا و شیمیایی را برآورده می‌کند. این پوشش مزایایی مانند پایداری در دمای بالا، پایداری شیمیایی، سختی و مقاومت در برابر سایش و رسانایی حرارتی را ارائه می‌دهد که به بهبود عملکرد، طول عمر و راندمان تولید حامل ویفر اپیتاکسی کمک می‌کند.

خواص فیزیکی اولیه پوشش TaC:

خواص فیزیکی پوشش TaC
تراکم	14.3 (g/cm³)
انتشار ویژه	0.3
ضریب انبساط حرارتی	6.3 10-6/K
سختی (HK)	2000 هنگ کنگ
مقاومت	1×10-5 اهم * سانتی متر
پایداری حرارتی	<2500℃
اندازه گرافیت تغییر می کند	-10~-20 میلی متر
ضخامت پوشش	مقدار معمولی ≥20um (10±35um)