نیمه هادی VeTek در تولید محصولات پوشش کاربید سیلیکون فوق خالص تخصص دارد، این پوشش ها برای اعمال بر روی گرافیت خالص، سرامیک و اجزای فلزی نسوز طراحی شده اند.
پوششهای با خلوص بالا عمدتاً برای استفاده در صنایع نیمهرسانا و الکترونیک هدفگذاری شدهاند. آنها به عنوان یک لایه محافظ برای حاملهای ویفر، گیرندهها و عناصر گرمایشی عمل میکنند و از آنها در برابر محیطهای خورنده و واکنشپذیری که در فرآیندهایی مانند MOCVD و EPI با آن مواجه میشوند، محافظت میکنند. این فرآیندها برای پردازش ویفر و ساخت دستگاه یکپارچه هستند. علاوه بر این، پوششهای ما برای کاربرد در کورههای خلاء و گرمایش نمونه، که در آن محیطهای خلاء، واکنشپذیر و اکسیژن بالا وجود دارد، مناسب هستند.
در VeTek Semiconductor، ما یک راه حل جامع با قابلیت های پیشرفته ماشین آلات خود ارائه می دهیم. این ما را قادر می سازد تا اجزای پایه را با استفاده از گرافیت، سرامیک یا فلزات نسوز تولید کنیم و پوشش های سرامیکی SiC یا TaC را در داخل خود اعمال کنیم. ما همچنین خدمات پوشش را برای قطعات عرضه شده توسط مشتری ارائه می دهیم و انعطاف پذیری را برای رفع نیازهای مختلف تضمین می کنیم.
محصولات پوشش سیلیکون کاربید ما به طور گسترده ای در اپیتاکسی Si، اپیتاکسی SiC، سیستم MOCVD، فرآیند RTP/RTA، فرآیند اچینگ، فرآیند اچینگ ICP/PSS، فرآیند انواع LED، از جمله LED آبی و سبز، LED UV و UV عمیق استفاده می شود. LED و غیره، که با تجهیزات LPE، Aixtron، Veeco، Nuflare، TEL، ASM، Annealsys، TSI و غیره سازگار است.
خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC | |
اموال | ارزش معمولی |
ساختار کریستالی | فاز β FCC پلی کریستالی، عمدتاً (111) گرا |
تراکم | 3.21 گرم بر سانتی متر مکعب |
سختی | سختی 2500 ویکرز (بار 500 گرم) |
اندازه دانه | 2 تا 10 میکرومتر |
خلوص شیمیایی | 99.99995% |
ظرفیت حرارتی | 640 J·kg-1·K-1 |
دمای تصعید | 2700 ℃ |
قدرت خمشی | 415 مگاپاسکال RT 4 نقطه |
مدول یانگ | 430 Gpa 4pt خم، 1300 ℃ |
هدایت حرارتی | 300W·m-1·K-1 |
انبساط حرارتی (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
نگهدارنده بشکه ای ویفر با پوشش CVD SiC جزء کلیدی کوره رشد همپایه است که به طور گسترده در کوره های رشد همپایه MOCVD استفاده می شود. VeTek Semiconductor محصولات بسیار سفارشی را در اختیار شما قرار می دهد. مهم نیست که نیاز شما به نگهدارنده بشکه ویفر با روکش CVD SiC چیست، با ما مشورت کنید.
ادامه مطلبارسال استعلامگیره بشکه پوشش نیمه هادی سی سی سی سی وی تک جزء اصلی کوره همپایی نوع بشکه ای است. با کمک گیره بشکه پوشش سی سی سی سی سی، کمیت و کیفیت رشد همبستگی تا حد زیادی بهبود می یابد. نیمه هادی VeTek تولید کننده و تامین کننده حرفه ای SiC Coated Barrel Susceptor، و در سطح پیشرو در چین و حتی در جهان است. VeTek Semiconductor مشتاقانه منتظر ایجاد یک رابطه همکاری نزدیک با شما در صنعت نیمه هادی است.
ادامه مطلبارسال استعلامویفر پوشش نیمه هادی VETek SiC CVD susceptor Epi یک جزء ضروری برای رشد اپیتاکسی SiC است که مدیریت حرارتی عالی، مقاومت شیمیایی و پایداری ابعادی را ارائه می دهد. با انتخاب susceptor Epi ویفر با پوشش CVD SiC VeTek Semiconductor، عملکرد فرآیندهای MOCVD خود را افزایش می دهید که منجر به محصولات با کیفیت بالاتر و کارایی بیشتر در عملیات تولید نیمه هادی می شود. از سوالات بیشتر خود استقبال کنید.
ادامه مطلبارسال استعلامگیرنده گرافیت پوشش نیمه هادی VeTek CVD SiC یکی از اجزای مهم در صنعت نیمه هادی ها مانند رشد اپیتاکسیال و پردازش ویفر است. در MOCVD و سایر تجهیزات برای پشتیبانی از پردازش و جابجایی ویفرها و سایر مواد با دقت بالا استفاده می شود. VeTek Semiconductor دارای قابلیتهای تولید و ساخت گیرنده گرافیت پوششدار SiC و قابلیتهای تولید و ساخت گیرنده گرافیت با پوشش TaC در چین است و مشتاقانه منتظر مشاوره شما است.
ادامه مطلبارسال استعلامپوشش CVD SiC Heating Element نقش اصلی را در گرم کردن مواد در کوره PVD (رسوب تبخیر) ایفا می کند. VeTek Semiconductor یکی از پیشروترین تولیدکنندگان المنت گرمایشی با پوشش CVD SiC در چین است. ما قابلیتهای پوشش CVD پیشرفتهای داریم و میتوانیم محصولات پوششدهی CVD SiC سفارشیشده را در اختیار شما قرار دهیم. VeTek Semiconductor مشتاق است که شریک شما در عنصر گرمایش با پوشش SiC شود.
ادامه مطلبارسال استعلامگیرنده دوار گرافیت با خلوص بالا نقش مهمی در رشد همپایی نیترید گالیم (فرآیند MOCVD) ایفا می کند. VeTek Semiconductor یک تولید کننده و تامین کننده پیشرو گیره های دوار گرافیت در چین است. ما بسیاری از محصولات گرافیتی با خلوص بالا را بر اساس مواد گرافیتی با خلوص بالا توسعه داده ایم که به طور کامل نیازهای صنعت نیمه هادی را برآورده می کند. VeTek Semiconductor مشتاق است که شریک شما در گیره گرافیت چرخان شود.
ادامه مطلبارسال استعلام