پوشش CVD SiC گیرنده اپیتاکسی

گیره اپیتاکسی روکش CVD SiC VeTek Semiconductor's Semiconductor's CVD Semiconductor's CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor یک ابزار مهندسی دقیق است که برای پردازش و پردازش ویفر نیمه هادی طراحی شده است. این محافظ اپیتاکسی پوشش SiC نقشی حیاتی در ترویج رشد لایه‌های نازک، لایه‌های لایه‌ای و سایر پوشش‌ها دارد و می‌تواند به طور دقیق دما و خواص مواد را کنترل کند. از سوالات بیشتر خود استقبال کنید.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor نوعی ازMOCVD LED Epi Suceptorکه نقش اصلی را در راکتور CVD ایفا می کند. به عنوان یک Epi Susceptor، نه تنها یک منبع گرما است، بلکه یک پلت فرم پشتیبانی پایدار برای بستر در طول فرآیند رسوب فراهم می کند.پوشش SiCمی تواند به طور موثر اکسیداسیون و آلودگی گرافیت را در محیط های با دمای بالا کاهش دهد، در نتیجه خلوص بالای مواد ته نشین شده را تضمین می کند.

اساسیخواص فیزیکی پوشش CVD SiC:

خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC
اموال	ارزش معمولی
ساختار کریستالی	فاز β FCC پلی کریستالی، عمدتاً (111) گرا
تراکم	3.21 گرم بر سانتی متر مکعب
سختی	سختی 2500 ویکرز (بار 500 گرم)
اندازه دانه	2 تا 10 میکرومتر
خلوص شیمیایی	99.99995%
ظرفیت حرارتی	640 ژون کیلوگرم^-1· K^-1
دمای تصعید	2700 ℃
قدرت خمشی	415 مگاپاسکال RT 4 نقطه
مدول یانگ	430 Gpa خم 4pt، 1300 ℃
هدایت حرارتی	300W·m^-1· K^-1
انبساط حرارتی (CTE)	4.5×10^-6K^-1

مزایای محصول اپیتاکسی روکش CVD SiC:

● رسوب گذاری دقیق: با استفاده از CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor، می توانید به رسوب دقیق کنترل شده لایه ها و پوشش های نازک دست پیدا کنید تا نتایجی با کیفیت بالا و قابل تکرار به دست آورید.

● کاهش آلودگی: پوشش SiC خطر آلودگی را به حداقل می رساندEpi Suceptorبر اساس گرافیت، از خلوص مواد رسوب‌شده اطمینان می‌دهد.

● ماندگاری: پوشش SiC مقاومت اکسیداسیون و مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی Graphite Epitaxy Susceptor را افزایش می دهد و به آن عمر طولانی تر و قابلیت اطمینان بالاتری می بخشد.

نیمه هادی VeTekمتعهد به ارائه محصولات با کیفیت بالا و قیمت های رقابتی است. خواه آن باشداگر گیرنده EPIیا Graphite EPI Susceptor با خلوص بالا، ما می توانیم نیازهای شما را برآورده کنیم. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلندمدت شما در چین باشیم.

نیمه هادی VeTekCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor فروشگاه های محصولات: