MOCVD LED Epi Susceptor

VeTek Semiconductor یک تولید کننده حرفه ای MOCVD LED Epi Susceptor، ALD Planetary Susceptor، TaC Coated Graphite Susceptor در چین است. MOCVD LED Epi Susceptor نیمه هادی VeTek برای کاربردهای تجهیزات همپایه طراحی شده است. رسانایی حرارتی بالا، پایداری شیمیایی و دوام آن از عوامل کلیدی برای تضمین روند رشد همپایه پایدار و تولید فیلم نیمه هادی با کیفیت بالا هستند. ما مشتاقانه منتظر همکاری بیشتر با شما هستیم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

نیمه هادی VeTekاستMOCVD LED Epi Susceptorیک جزء اصلی است. در فرآیند آماده سازی دستگاه های نیمه هادی،MOCVD LED Epi Susceptorنه تنها یک پلت فرم گرمایش ساده، بلکه یک ابزار فرآیند دقیق است که تأثیر عمیقی بر کیفیت، نرخ رشد، یکنواختی و سایر جنبه های مواد لایه نازک دارد.

کاربردهای خاص ازMOCVD LED Epi Susceptorدر پردازش نیمه هادی به شرح زیر است:

گرمایش بستر و کنترل یکنواختی:

MOCVD Epitaxy Susceptor برای ایجاد گرمایش یکنواخت برای اطمینان از دمای پایدار بستر در طول رشد اپیتاکسی استفاده می شود. این برای به دست آوردن فیلم های نیمه هادی با کیفیت بالا و اطمینان از ثبات در ضخامت و کیفیت کریستالی لایه های همپایه در سراسر بستر ضروری است.

پشتیبانی از اتاق‌های راکتور رسوب بخار شیمیایی (CVD).:

به عنوان یک جزء مهم در راکتور CVD، Susceptor از رسوب ترکیبات آلی فلزی بر روی بسترها پشتیبانی می کند. به تبدیل دقیق این ترکیبات به لایه های جامد برای تشکیل مواد نیمه هادی مورد نظر کمک می کند.

ترویج توزیع گاز:

طراحی Susceptor می تواند توزیع جریان گازها را در محفظه واکنش بهینه کند و اطمینان حاصل کند که گاز واکنش به طور یکنواخت با بستر تماس پیدا می کند و در نتیجه یکنواختی و کیفیت فیلم های همپایی را بهبود می بخشد.

برای خرید سفارشی می توانید مطمئن باشیدMOCVD LED Epi Susceptorاز ما، ما مشتاقانه منتظر همکاری با شما هستیم. اگر می خواهید اطلاعات بیشتری بدانید، می توانید بلافاصله با ما مشورت کنید و ما به موقع به شما پاسخ خواهیم داد!

خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC: