نازل پوششی CVD SiC

VeTek Semiconductor یک تولید کننده تخصصی لوازم جانبی پوشش CVD SiC برای دستگاه های همپایی مانند قطعات نیمه ماه روکش CVD SiC و لوازم جانبی آن CVD SiC Coating Nozzels است. به پرس و جو از ما خوش آمدید.

PE1O8 یک سیستم کارتریج به کارتریج تمام اتوماتیک است که برای جابجایی ویفرهای SiC تا 200 میلی متر طراحی شده است. فرمت را می توان بین 150 تا 200 میلی متر تغییر داد و زمان خرابی ابزار را به حداقل می رساند. کاهش مراحل گرمایش بهره وری را افزایش می دهد، در حالی که اتوماسیون باعث کاهش نیروی کار و بهبود کیفیت و تکرارپذیری می شود. برای اطمینان از یک فرآیند اپیتاکسی کارآمد و مقرون به صرفه، سه عامل اصلی گزارش شده است: 1) فرآیند سریع، 2) یکنواختی بالای ضخامت و دوپینگ، و 3) به حداقل رساندن تشکیل نقص در طول فرآیند اپیتاکسی. در PE1O8، جرم گرافیت کوچک و سیستم بار/تخلیه خودکار اجازه می‌دهد تا یک اجرای استاندارد در کمتر از 75 دقیقه تکمیل شود (فرمولاسیون استاندارد دیود شاتکی 10 میکرومتر از نرخ رشد 30 میکرومتر در ساعت استفاده می‌کند). سیستم خودکار امکان بارگیری/تخلیه در دماهای بالا را می دهد. در نتیجه زمان گرمایش و سرمایش کوتاه است، در حالی که مرحله پخت مهار شده است. این شرایط ایده آل اجازه می دهد تا مواد بدون لایه واقعی رشد کنند.

در فرآیند اپیتاکسی کاربید سیلیکون، نازل های پوششی CVD SiC نقش مهمی در رشد و کیفیت لایه های اپیتاکسیال ایفا می کنند. در اینجا توضیح گسترده ای از نقش نازل ها در اپیتاکسی کاربید سیلیکون ارائه شده است:

تامین و کنترل گاز: از نازل ها برای رساندن مخلوط گاز مورد نیاز در حین اپیتاکسی، از جمله گاز منبع سیلیکون و گاز منبع کربن استفاده می شود. از طریق نازل ها، جریان گاز و نسبت ها را می توان دقیقاً کنترل کرد تا از رشد یکنواخت لایه اپیتاکسیال و ترکیب شیمیایی مورد نظر اطمینان حاصل شود.

کنترل دما: نازل ها همچنین به کنترل دما در راکتور اپیتاکسی کمک می کنند. در اپیتاکسی کاربید سیلیکون، دما یک عامل حیاتی است که بر سرعت رشد و کیفیت کریستال تأثیر می گذارد. با ارائه گرما یا گاز خنک کننده از طریق نازل ها می توان دمای رشد لایه اپیتاکسیال را برای شرایط بهینه رشد تنظیم کرد.

توزیع جریان گاز: طراحی نازل ها بر توزیع یکنواخت گاز در داخل راکتور تأثیر می گذارد. توزیع یکنواخت جریان گاز یکنواختی لایه اپیتاکسیال و ضخامت ثابت را تضمین می کند و از مسائل مربوط به عدم یکنواختی کیفیت مواد جلوگیری می کند.

جلوگیری از آلودگی ناخالصی: طراحی و استفاده صحیح از نازل ها می تواند به جلوگیری از آلودگی ناخالصی در طول فرآیند اپیتاکسی کمک کند. طراحی مناسب نازل احتمال ورود ناخالصی های خارجی به راکتور را به حداقل می رساند و از خلوص و کیفیت لایه اپیتاکسیال اطمینان حاصل می کند.

خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC:

مغازه های تولیدی:

مروری بر زنجیره صنعت اپیتاکسی تراشه های نیمه هادی: