گیرنده EPI

گیرنده EPI VeTek Semiconductor برای کاربردهای سخت افزاری اپیتاکسیال طراحی شده است. ساختار گرافیت پوشش داده شده با کاربید سیلیکون (SiC) با خلوص بالا، مقاومت حرارتی عالی، یکنواختی حرارتی یکنواخت برای ضخامت و مقاومت لایه همپایه و مقاومت شیمیایی طولانی مدت را ارائه می دهد. ما مشتاقانه منتظر همکاری با شما هستیم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

نیمه هادی VeTek یک تولید کننده گیرنده EPI چینی، گیرنده سیاره ای ALD، گیرنده گرافیت با پوشش TaC است.

گیرنده EPI VeTek Semiconductor یکی از اجزای مهم رشد اپیتاکسیال در فرآیند تولید نیمه هادی است. عملکرد اصلی آن پشتیبانی و گرم کردن ویفر است به طوری که یک لایه اپیتاکسیال با کیفیت بالا بتواند به طور یکنواخت روی سطح ویفر رشد کند.

گیرنده های EPI نیمه هادی های VeTek معمولا از گرافیت با خلوص بالا ساخته می شوند و با لایه ای از کاربید سیلیکون (SiC) پوشانده می شوند. این طراحی دارای مزایای کلیدی زیر است:

پایداری دمای بالا: گیرنده EPI می تواند در یک محیط با دمای بالا ثابت بماند و رشد یکنواخت لایه اپیتاکسیال را تضمین کند.

مقاومت در برابر خوردگی: پوشش SiC دارای مقاومت در برابر خوردگی عالی است و می تواند در برابر فرسایش گازهای شیمیایی مقاومت کند و عمر مفید سینی را افزایش دهد.

هدایت حرارتی: رسانایی حرارتی بالای مواد SiC توزیع دمای یکنواخت ویفر را در حین گرم شدن تضمین می کند و در نتیجه کیفیت لایه اپیتاکسیال را بهبود می بخشد.

تطبیق ضریب انبساط حرارتی: ضریب انبساط حرارتی SiC مشابه گرافیت است و از مشکل ریزش پوشش در اثر انبساط و انقباض حرارتی جلوگیری می کند.

خواص فیزیکی اساسی ازگیرنده EPI: