نیمه هادی VeTek در تولید محصولات پوشش کاربید سیلیکون فوق خالص تخصص دارد، این پوشش ها برای اعمال بر روی گرافیت خالص، سرامیک و اجزای فلزی نسوز طراحی شده اند.
پوششهای با خلوص بالا عمدتاً برای استفاده در صنایع نیمهرسانا و الکترونیک هدفگذاری شدهاند. آنها به عنوان یک لایه محافظ برای حاملهای ویفر، گیرندهها و عناصر گرمایشی عمل میکنند و از آنها در برابر محیطهای خورنده و واکنشپذیری که در فرآیندهایی مانند MOCVD و EPI با آن مواجه میشوند، محافظت میکنند. این فرآیندها برای پردازش ویفر و ساخت دستگاه یکپارچه هستند. علاوه بر این، پوششهای ما برای کاربرد در کورههای خلاء و گرمایش نمونه، که در آن محیطهای خلاء، واکنشپذیر و اکسیژن بالا وجود دارد، مناسب هستند.
در VeTek Semiconductor، ما یک راه حل جامع با قابلیت های پیشرفته ماشین آلات خود ارائه می دهیم. این ما را قادر می سازد تا اجزای پایه را با استفاده از گرافیت، سرامیک یا فلزات نسوز تولید کنیم و پوشش های سرامیکی SiC یا TaC را در داخل خود اعمال کنیم. ما همچنین خدمات پوشش را برای قطعات عرضه شده توسط مشتری ارائه می دهیم و انعطاف پذیری را برای رفع نیازهای مختلف تضمین می کنیم.
محصولات پوشش سیلیکون کاربید ما به طور گسترده ای در اپیتاکسی Si، اپیتاکسی SiC، سیستم MOCVD، فرآیند RTP/RTA، فرآیند اچینگ، فرآیند اچینگ ICP/PSS، فرآیند انواع LED، از جمله LED آبی و سبز، LED UV و UV عمیق استفاده می شود. LED و غیره، که با تجهیزات LPE، Aixtron، Veeco، Nuflare، TEL، ASM، Annealsys، TSI و غیره سازگار است.
خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC | |
اموال | ارزش معمولی |
ساختار کریستالی | فاز β FCC پلی کریستالی، عمدتاً (111) گرا |
تراکم | 3.21 گرم بر سانتی متر مکعب |
سختی | سختی 2500 ویکرز (بار 500 گرم) |
اندازه دانه | 2 تا 10 میکرومتر |
خلوص شیمیایی | 99.99995% |
ظرفیت حرارتی | 640 J·kg-1·K-1 |
دمای تصعید | 2700 ℃ |
قدرت خمشی | 415 مگاپاسکال RT 4 نقطه |
مدول یانگ | 430 Gpa 4pt خم، 1300 ℃ |
هدایت حرارتی | 300W·m-1·K-1 |
انبساط حرارتی (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor یک تامین کننده پیشرو در پوشش سفارشی Upper Halfmoon Part SiC در چین است که بیش از 20 سال در مواد پیشرفته تخصص دارد. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC به طور خاص برای تجهیزات epitaxial SiC طراحی شده است و به عنوان یک جزء مهم در محفظه واکنش عمل می کند. ساخته شده از گرافیت بسیار خالص و نیمه هادی، عملکرد عالی را تضمین می کند. ما از شما دعوت می کنیم از کارخانه ما در چین بازدید کنید.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor یک تامین کننده پیشرو سفارشی سازی شده سیلیکون کاربید اپیتاکسی حامل ویفر در چین است. ما بیش از 20 سال است که در مواد پیشرفته تخصص داشته ایم. ما یک حامل ویفر اپیتاکسی سیلیکون کاربید را برای حمل بستر SiC، رشد لایه اپیتاکسی SiC در راکتور اپیتاکسی SiC ارائه می دهیم. این حامل ویفر اپیتاکسی سیلیکون کاربید یک بخش مهم با پوشش SiC از قسمت نیمه ماه، مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون، مقاومت در برابر سایش است. ما از شما برای بازدید از کارخانه ما در چین استقبال می کنیم.
ادامه مطلبارسال استعلامگیرنده MOCVD با پوشش SiC نیمه هادی VeTek یک دستگاه با فرآیند، دوام و قابلیت اطمینان عالی است. آنها می توانند دمای بالا و محیط های شیمیایی را تحمل کنند، عملکرد پایدار و عمر طولانی را حفظ کنند، در نتیجه فرکانس جایگزینی و نگهداری را کاهش می دهند و راندمان تولید را بهبود می بخشند. MOCVD Epitaxial Susceptor ما به دلیل چگالی بالا، مسطح بودن عالی و کنترل حرارتی عالی مشهور است، که آن را به تجهیزات ترجیحی در محیط های تولیدی سخت تبدیل می کند. مشتاقانه منتظر همکاری با شما هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلامحامل اچینگ ICP با پوشش SiC نیمه هادی VeTek برای سخت ترین کاربردهای تجهیزات اپیتاکسی طراحی شده است. ساخته شده از مواد گرافیت فوق العاده با کیفیت بالا، حامل اچینگ ICP با پوشش SiC ما دارای سطح بسیار صاف و مقاومت در برابر خوردگی عالی برای مقاومت در برابر شرایط سخت در حین جابجایی است. رسانایی حرارتی بالای حامل با پوشش SiC توزیع یکنواخت گرما را برای نتایج عالی حکاکی تضمین می کند. VeTek Semiconductor مشتاقانه منتظر ایجاد یک همکاری طولانی مدت با شما است.
ادامه مطلبارسال استعلامصفحه حامل اچینگ PSS VeTek Semiconductor's Semiconductor's PSS for Semiconductor یک حامل گرافیت با کیفیت بالا و فوق العاده خالص است که برای فرآیندهای جابجایی ویفر طراحی شده است. حامل های ما عملکرد عالی دارند و می توانند در محیط های سخت، دماهای بالا و شرایط تمیز کردن شیمیایی سخت عملکرد خوبی داشته باشند. محصولات ما به طور گسترده در بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا مورد استفاده قرار می گیرند و ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک بلندمدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor یک تولید کننده و مبتکر پیشرو در چین است. ما سال ها در مواد پوشش SiC تخصص داشته ایم. ما گیره بازپخت حرارتی سریع را با کیفیت بالا، مقاومت در برابر دمای بالا، فوق العاده نازک ارائه می دهیم. از شما استقبال می کنیم که از ما دیدن کنید. کارخانه در چین
ادامه مطلبارسال استعلام