حلقه راهنمای سه گلبرگ با روکش CVD TaC

VeTek Semiconductor سالها توسعه فناوری را تجربه کرده است و بر فناوری فرآیند پیشرو پوشش CVD TaC تسلط یافته است. حلقه راهنمای سه گلبرگ با روکش CVD TaC یکی از بالغ ترین محصولات پوشش CVD TaC VeTek Semiconductor است و جزء مهمی برای تهیه کریستال های SiC به روش PVT می باشد. با کمک VeTek Semiconductor، من معتقدم که تولید کریستال SiC شما روان تر و کارآمدتر خواهد بود.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

مواد بستر تک کریستال کاربید سیلیکون نوعی ماده کریستالی است که متعلق به مواد نیمه هادی باندگپ گسترده است. این دارای مزایای مقاومت در برابر ولتاژ بالا، مقاومت در برابر دمای بالا، فرکانس بالا، تلفات کم و غیره است. این ماده اولیه برای تهیه دستگاه های الکترونیکی با قدرت بالا و دستگاه های فرکانس رادیویی مایکروویو است. در حال حاضر روش های اصلی برای رشد کریستال های SiC عبارتند از انتقال فیزیکی بخار (روش PVT)، رسوب شیمیایی بخار در دمای بالا (روش HTCVD)، روش فاز مایع و غیره.

Working diagram of CVD TaC coated three-petal guide ring

روش PVT روشی نسبتا بالغ است که برای تولید انبوه صنعتی مناسب تر است. با قرار دادن کریستال بذر SiC در بالای بوته و قرار دادن پودر SiC به عنوان ماده اولیه در کف بوته، در محیط بسته با دمای بالا و فشار کم، پودر SiC تصعید شده و به سمت بالا به مجاورت منتقل می شود. کریستال بذر تحت تأثیر گرادیان دما و اختلاف غلظت، و پس از رسیدن به حالت فوق اشباع، رشد قابل کنترل SiC، تبلور مجدد می یابد. اندازه کریستال و نوع کریستال خاص را می توان به دست آورد.

عملکرد اصلی حلقه راهنمای سه گلبرگ با پوشش CVD TaC بهبود مکانیک سیالات، هدایت جریان گاز و کمک به ناحیه رشد کریستال برای به دست آوردن جو یکنواخت است. همچنین به طور موثر گرما را دفع می کند و گرادیان دما را در طول رشد کریستال های SiC حفظ می کند، در نتیجه شرایط رشد کریستال های SiC را بهینه می کند و از نقص کریستالی ناشی از توزیع ناهموار دما جلوگیری می کند.

عملکرد عالی پوشش CVD TaC

● خلوص فوق العاده بالا: از تولید ناخالصی ها و آلودگی ها جلوگیری می کند.

● پایداری دمای بالا: پایداری دمای بالا در بالای 2500 درجه سانتیگراد، عملکرد دمای فوق العاده بالا را امکان پذیر می کند.

● تحمل محیط شیمیایی: تحمل به H(2)، NH(3)، SiH(4) و Si، حفاظت در محیط های شیمیایی خشن را فراهم می کند.

● عمر طولانی بدون ریزش: پیوند قوی با بدنه گرافیت می تواند چرخه عمر طولانی را بدون ریزش پوشش داخلی تضمین کند.

● مقاومت در برابر شوک حرارتی: مقاومت در برابر شوک حرارتی چرخه عملیات را سرعت می بخشد.

●تحمل ابعادی دقیق: تضمین می کند که پوشش پوشش با تحمل ابعادی دقیق مطابقت دارد.

VeTek Semiconductor دارای یک تیم پشتیبانی فنی حرفه ای و تیم فروش است که می تواند مناسب ترین محصولات و راه حل ها را برای شما طراحی کند. از پیش فروش تا پس از فروش، نیمه هادی وتک همواره متعهد است که کامل ترین و جامع ترین خدمات را به شما ارائه دهد.

خواص فیزیکی پوشش TaC

خواص فیزیکی پوشش TaC
تراکم پوشش TaC	14.3 (g/cm³)
انتشار ویژه	0.3
ضریب انبساط حرارتی	6.3 10^-6/ ک
سختی پوشش TaC (HK)	2000 هنگ کنگ
مقاومت	1×10^-5اهم * سانتی متر
پایداری حرارتی	<2500℃
اندازه گرافیت تغییر می کند	-10-20 میلی متر
ضخامت پوشش	مقدار معمولی ≥20um (10±35um)
هدایت حرارتی	9-22 (W/m·K)