نیمه هادی VeTek در تولید محصولات پوشش کاربید سیلیکون فوق خالص تخصص دارد، این پوشش ها برای اعمال بر روی گرافیت خالص، سرامیک و اجزای فلزی نسوز طراحی شده اند.
پوششهای با خلوص بالا عمدتاً برای استفاده در صنایع نیمهرسانا و الکترونیک هدفگذاری شدهاند. آنها به عنوان یک لایه محافظ برای حاملهای ویفر، گیرندهها و عناصر گرمایشی عمل میکنند و از آنها در برابر محیطهای خورنده و واکنشپذیری که در فرآیندهایی مانند MOCVD و EPI با آن مواجه میشوند، محافظت میکنند. این فرآیندها برای پردازش ویفر و ساخت دستگاه یکپارچه هستند. علاوه بر این، پوششهای ما برای کاربرد در کورههای خلاء و گرمایش نمونه، که در آن محیطهای خلاء، واکنشپذیر و اکسیژن بالا وجود دارد، مناسب هستند.
در VeTek Semiconductor، ما یک راه حل جامع با قابلیت های پیشرفته ماشین آلات خود ارائه می دهیم. این ما را قادر می سازد تا اجزای پایه را با استفاده از گرافیت، سرامیک یا فلزات نسوز تولید کنیم و پوشش های سرامیکی SiC یا TaC را در داخل خود اعمال کنیم. ما همچنین خدمات پوشش را برای قطعات عرضه شده توسط مشتری ارائه می دهیم و انعطاف پذیری را برای رفع نیازهای مختلف تضمین می کنیم.
محصولات پوشش سیلیکون کاربید ما به طور گسترده ای در اپیتاکسی Si، اپیتاکسی SiC، سیستم MOCVD، فرآیند RTP/RTA، فرآیند اچینگ، فرآیند اچینگ ICP/PSS، فرآیند انواع LED، از جمله LED آبی و سبز، LED UV و UV عمیق استفاده می شود. LED و غیره، که با تجهیزات LPE، Aixtron، Veeco، Nuflare، TEL، ASM، Annealsys، TSI و غیره سازگار است.
خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC | |
اموال | ارزش معمولی |
ساختار کریستالی | فاز β FCC پلی کریستالی، عمدتاً (111) گرا |
تراکم | 3.21 گرم بر سانتی متر مکعب |
سختی | سختی 2500 ویکرز (بار 500 گرم) |
اندازه دانه | 2 تا 10 میکرومتر |
خلوص شیمیایی | 99.99995% |
ظرفیت حرارتی | 640 J·kg-1·K-1 |
دمای تصعید | 2700 ℃ |
قدرت خمشی | 415 مگاپاسکال RT 4 نقطه |
مدول یانگ | 430 Gpa 4pt خم، 1300 ℃ |
هدایت حرارتی | 300W·m-1·K-1 |
انبساط حرارتی (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
به عنوان یک تولید کننده و تامین کننده حرفه ای حامل ویفر با پوشش SiC در چین، حامل های ویفر پوشش SiC Vetek Semiconductor عمدتا برای بهبود یکنواختی رشد لایه اپیتاکسیال استفاده می شود و از ثبات و یکپارچگی آنها در دمای بالا و محیط های خورنده اطمینان می یابد. مشتاقانه منتظر درخواست شما هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor یک تولید کننده حرفه ای ALD Susceptor، پوشش CVD SiC، پایه گرافیت CVD TAC COATING در چین است. Vetek Semiconductor به طور مشترک پایه های سیاره ای ALD با پوشش SiC را با سازندگان سیستم ALD ایجاد و تولید کرد تا نیازهای بالای فرآیند ALD را برآورده کند و جریان هوا را به طور یکنواخت بر روی بستر توزیع کند. ما مشتاقانه منتظر همکاری بیشتر با شما هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلامبه عنوان یک تولید کننده و تامین کننده حرفه ای سقف با پوشش CVD SiC در چین، سقف پوشش داده شده CVD SiC VeTek Semiconductor دارای خواص عالی مانند مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، سختی بالا و ضریب انبساط حرارتی پایین است که آن را به یک انتخاب مواد ایده آل در تولید نیمه هادی تبدیل می کند. ما مشتاقانه منتظر همکاری بیشتر با شما هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor یک تولید کننده حرفه ای MOCVD LED Epi Susceptor، ALD Planetary Susceptor، TaC Coated Graphite Susceptor در چین است. MOCVD LED Epi Susceptor نیمه هادی VeTek برای کاربردهای تجهیزات همپایه طراحی شده است. رسانایی حرارتی بالا، پایداری شیمیایی و دوام آن از عوامل کلیدی برای تضمین روند رشد همپایه پایدار و تولید فیلم نیمه هادی با کیفیت بالا هستند. ما مشتاقانه منتظر همکاری بیشتر با شما هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلامبه عنوان یک تولید کننده و تامین کننده حرفه ای گیرنده ALD پوشش SiC در چین، پوشش SiC نیمه هادی VeTek susceptor ALD یک جزء پشتیبانی است که به طور خاص در فرآیند رسوب لایه اتمی (ALD) استفاده می شود. این نقش کلیدی در تجهیزات ALD ایفا می کند و از یکنواختی و دقت فرآیند رسوب اطمینان می دهد. ما معتقدیم که محصولات ALD Planetary Susceptor ما می توانند راه حل های محصولی با کیفیت بالا را به شما ارائه دهند.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor تولید کننده، مبتکر و رهبر محصولات SiC Coating Epi Susceptor در چین است. سالها است که ما بر روی محصولات مختلف پوشش SiC از جمله SiC Coating Epi Susceptor، SiC Coating Wafer Carrier، SiC Coating Susceptor، SiC Coating susceptor ALD و غیره تمرکز کردهایم. VeTek Semiconductor متعهد به ارائه فناوری پیشرفته و راهحلهای محصول برای نیمه هادی است. صنعت از مشاوره بیشتر خود خوش آمدید.
ادامه مطلبارسال استعلام