VeTek Semiconductor یک تولید کننده و تامین کننده حرفه ای در چین برای قایق ویفر کاربید سیلیکون برای کوره افقی است، با سالها تجربه در تحقیق و توسعه و تولید، می تواند کیفیت را به خوبی کنترل کند و قیمت رقابتی را ارائه دهد. می توانید از خرید قایق ویفر کاربید سیلیکون برای کوره افقی از ما مطمئن باشید.
قایق ویفر سیلیکون کاربید با کیفیت بالا برای کوره افقی توسط سازنده چینی VeTek Semiconductor ارائه شده است. قایق ویفر سیلیکون کاربید برای کوره افقی با کیفیت بالا را مستقیماً از کارخانه با قیمت پایین خریداری کنید. قایق ویفر کاربید سیلیکونی برای کوره افقی در لوله های کوره برای بارگیری و انتقال ویفرها در طول عملیات های با دمای بالا استفاده می شود. به دلیل خواص عالی مواد کاربید سیلیکون مانند مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و پایداری حرارتی، آنها به طور گسترده در فرآیندهای مختلف عملیات حرارتی مانند انتشار، اکسیداسیون، CVD و بازپخت استفاده می شوند.
1. سختی بالا و مقاومت در برابر سایش: کاربید سیلیکون بعد از الماس دارای سختی است و آن را بسیار مقاوم در برابر سایش می کند. این به قایقهای کاربید سیلیکون اجازه میدهد تا در برابر ضربات مکانیکی و اصطکاک مکرر مقاومت کنند و عمر مفید آنها را افزایش دهند.
2. مقاومت در برابر دمای بالا: کاربید سیلیکون دارای نقطه ذوب 2730 درجه سانتیگراد است که باعث می شود قایق های کاربید سیلیکون برای محیط های با دمای بالا و فرآیندهای مختلف تولید نیمه هادی مانند اکسیداسیون و انتشار در دمای بالا مناسب باشند.
3. ضریب انبساط حرارتی پایین: کاربید سیلیکون دارای ضریب انبساط حرارتی پایینی است که به حفظ ثبات ابعادی در دماهای بالا کمک می کند، از تغییر شکل قایق جلوگیری می کند و بر دقت پردازش ویفر تأثیر می گذارد.
4. پایداری شیمیایی خوب: کاربید سیلیکون در برابر اکثر مواد شیمیایی مقاوم است و با محلول های اسیدی و قلیایی معمولی واکنش نشان نمی دهد و ایمنی و تمیزی ویفرها را تضمین می کند.
ما می توانیم انواع مختلفی از قایق ویفر کاربید سیلیکون مانند قایق ویفر افقی، قایق ویفر عمودی و هر قایق سفارشی دیگر را تولید کنیم.
خواص فیزیکی کاربید سیلیسیم تبلور مجدد | |
ویژگی | ارزش معمولی |
دمای کار (درجه سانتیگراد) | 1600 درجه سانتی گراد (با اکسیژن)، 1700 درجه سانتی گراد (محیط کاهنده) |
محتوای SiC | > 99.96٪ |
محتوای Si رایگان | < 0.1٪ |
چگالی ظاهری | 2.60-2.70 گرم بر سانتی متر مکعب |
تخلخل ظاهری | < 16% |
قدرت فشار | > 600 مگاپاسکال |
قدرت خمش سرد | 80-90 مگاپاسکال (20 درجه سانتیگراد) |
قدرت خمش گرم | 90-100 مگاپاسکال (1400 درجه سانتیگراد) |
انبساط حرارتی @1500 درجه سانتیگراد | 4.70 10-6/°C |
هدایت حرارتی @1200 درجه سانتیگراد | 23 W/m•K |
مدول الاستیک | 240 گیگا پاسکال |
مقاومت در برابر شوک حرارتی | فوق العاده خوب |
قایق ویفر سیلیکون کاربید برای کوره های افقی کاربردهای گسترده ای در صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک پیدا می کند:
تمیز کردن و حکاکی ویفر
انتشار و اکسیداسیون
آبکاری و اچینگ
پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP)
حرارت درمانی
انتقال و نگهداری ویفر