قایق ویفر کاربید سیلیکونی با روکش SiC

VeTek Semiconductor تولید کننده و تامین کننده حرفه ای در چین برای قایق ویفر کاربید سیلیکون با پوشش SiC است، با سالها تجربه در تحقیق و توسعه و تولید، می تواند کیفیت را به خوبی کنترل کند و قیمت رقابتی ارائه دهد. برای بازدید از کارخانه ما و بحث بیشتر در مورد همکاری خوش آمدید.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

VeTek Semiconductor سازنده و تامین کننده چین است که عمدتاً قایق ویفر کاربید سیلیکونی با پوشش SiC را با سالها تجربه تولید می کند. امیدواریم بتوانیم رابطه تجاری با شما ایجاد کنیم. قایق ویفر کاربید سیلیکون با پوشش SiC در کوره های پخش نیمه هادی برای حمل ویفرها برای فرآیندهای مختلف در دمای بالا مانند کاشت یون، انتشار و بازپخت استفاده می شود. این می تواند یک محیط پایدار برای ویفرها فراهم کند و از یکنواختی دما و ثبات در طول پردازش اطمینان حاصل کند.

قایق‌های ویفر کاربید سیلیکونی با پوشش SiC دارای مقاومت حرارتی و پایداری شیمیایی بالاتری هستند که به آن‌ها اجازه می‌دهد در دماهای بالاتر کار کنند و طول عمر بیشتری را ارائه دهند. علاوه بر این، آنها دارای نرخ تبخیر مواد و نرخ جذب گاز کمتری هستند که به کاهش تأثیر ناخالصی ها بر پردازش ویفر کمک می کند.

ما می توانیم انواع مختلفی از قایق ویفر کاربید سیلیکون مانند قایق ویفر افقی، قایق ویفر عمودی و هر قایق سفارشی دیگر را تولید کنیم.

مزایای کاربید سیلیکون با خلوص بالا:

1. پایداری در دمای بالا

2. بی اثری شیمیایی

3. محتوای ناخالصی کم

4. رسانایی حرارتی

خواص فیزیکی کاربید سیلیسیم تبلور مجدد

خواص فیزیکی کاربید سیلیسیم تبلور مجدد
ویژگی	ارزش معمولی
دمای کار (درجه سانتیگراد)	1600 درجه سانتی گراد (با اکسیژن)، 1700 درجه سانتی گراد (محیط کاهنده)
محتوای SiC	> 99.96٪
محتوای Si رایگان	< 0.1٪
چگالی ظاهری	2.60-2.70 گرم بر سانتی متر مکعب
تخلخل ظاهری	< 16%
قدرت فشاری	> 600 مگاپاسکال
قدرت خمش سرد	80-90 مگاپاسکال (20 درجه سانتیگراد)
قدرت خمش گرم	90-100 مگاپاسکال (1400 درجه سانتیگراد)
انبساط حرارتی @1500 درجه سانتیگراد	4.70 10-6/°C
هدایت حرارتی @1200 درجه سانتیگراد	23 W/m•K
مدول الاستیک	240 گیگا پاسکال
مقاومت در برابر شوک حرارتی	فوق العاده خوب