سر دوش گاز SiC جامد

سر دوش گاز SiC جامد

VeTek Semiconductor یک شرکت یکپارچه است که به تحقیق، تولید و فروش اختصاص دارد. با بیش از 20 سال تجربه، تیم ما در SiC، پوشش‌های TaC و CVD Solid SiC تخصص دارد. خوش آمدید به خرید از ما سر دوش گاز جامد SiC.

سر دوش گاز جامد SiC نیمه هادی VeTek معمولاً برای توزیع یکنواخت گازهای پیش ساز بر روی سطح بستر در طی فرآیندهای CVD نیمه هادی استفاده می شود. استفاده از مواد CVD-SiC برای سر دوش چندین مزیت دارد. رسانایی حرارتی بالای آن به دفع گرمای تولید شده در فرآیند CVD کمک می کند و از توزیع یکنواخت دما بر روی بستر اطمینان می دهد. علاوه بر این، پایداری شیمیایی سر دوش گاز جامد SiC آن را قادر می سازد در برابر گازهای خورنده و محیط های خشن که معمولاً در فرآیندهای CVD با آن مواجه می شوند، مقاومت کند. طراحی سر دوش CVD-SiC را می توان برای سیستم های CVD خاص و الزامات فرآیندی تنظیم کرد. با این حال، آنها معمولاً از یک صفحه یا قطعه دیسکی شکل با یک سری سوراخ یا شکاف با حفر دقیق تشکیل شده اند. الگوی سوراخ و هندسه به دقت طراحی شده اند تا از توزیع یکنواخت گاز و سرعت جریان بر روی سطح بستر اطمینان حاصل شود.

خواص فیزیکی SiC جامد

فروشگاه تولید نیمه هادی VeTek

زنجیره صنعت اپیتاکسی نیمه هادی