چین پوشش کاربید تانتالیوم سازنده، تامین کننده، کارخانه

نیمه هادی VeTek تولید کننده پیشرو مواد پوشش کاربید تانتالم برای صنعت نیمه هادی است. محصولات اصلی ما شامل قطعات پوشش کاربید تانتالم CVD، قطعات پوشش TaC متخلخل شده برای رشد کریستال SiC یا فرآیند اپیتاکسی نیمه هادی است. با تصویب ISO9001، نیمه هادی VeTek کنترل خوبی بر کیفیت دارد. نیمه هادی VeTek برای تبدیل شدن به مبتکر در صنعت پوشش کاربید تانتالم از طریق تحقیق و توسعه مداوم فناوری های تکراری اختصاص داده شده است.

محصولات اصلی هستندحلقه ناقص پوشش کاربید تانتالیوم، حلقه انحرافی با پوشش TaC، قطعات نیمه ماه با پوشش TaC، دیسک چرخش سیاره ای با پوشش کاربید تانتالم (Aixtron G10)، بوته با پوشش TaC. حلقه های با پوشش TaC; گرافیت متخلخل با پوشش TaC; گیره گرافیتی پوشش کاربید تانتالم; حلقه راهنما با پوشش TaC; صفحه پوشش داده شده با کاربید تانتالم TaC; گیرنده ویفر با پوشش TaC; حلقه پوشش TaC; پوشش گرافیتی پوشش TaC; تکه با پوشش TaCو غیره، خلوص زیر 5ppm است، می تواند نیازهای مشتری را برآورده کند.

گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح یک بستر گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز کاربید تانتالیوم توسط فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد می شود. مزیت آن در تصویر زیر نشان داده شده است:

Excellent properties of TaC coating graphite

پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) به دلیل نقطه ذوب بالای آن تا 3880 درجه سانتیگراد، استحکام مکانیکی عالی، سختی و مقاومت در برابر شوک های حرارتی مورد توجه قرار گرفته است و آن را به جایگزینی جذاب برای فرآیندهای اپیتاکسی نیمه هادی مرکب با شرایط دمایی بالاتر تبدیل کرده است. مانند سیستم Aixtron MOCVD و فرآیند اپیتاکسی LPE SiC. همچنین کاربرد گسترده ای در فرآیند رشد کریستال SiC روش PVT دارد.

ویژگی های کلیدی:

●پایداری دما

●خلوص فوق العاده بالا

●مقاومت در برابر H2، NH3، SiH4، Si

●مقاومت در برابر استوک حرارتی

●چسبندگی قوی به گرافیت

●پوشش پوششی منسجم

● اندازه تا قطر 750 میلی متر (تنها سازنده در چین به این اندازه می رسد)

برنامه های کاربردی:

●حامل ویفر

● گیرنده گرمایش القایی

● المنت حرارتی مقاومتی

●دیسک ماهواره

●سر دوش

●حلقه راهنما

●گیرنده LED Epi

●نازل تزریق

●حلقه ماسک

● سپر حرارتی

پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) روی سطح مقطع میکروسکوپی:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

پارامتر پوشش کاربید تانتالم نیمه هادی VeTek:

خواص فیزیکی پوشش TaC
تراکم	14.3 (g/cm³)
انتشار ویژه	0.3
ضریب انبساط حرارتی	6.3 10^-6/ ک
سختی (HK)	2000 هنگ کنگ
مقاومت	1×10^-5اهم * سانتی متر
پایداری حرارتی	<2500℃
اندازه گرافیت تغییر می کند	-10~-20 میلی متر
ضخامت پوشش	مقدار معمولی ≥20um (10±35um)

داده های EDX پوشش TaC：

EDX data of TaC coating

داده های ساختار کریستالی پوشش TaC:

عنصر	درصد اتمی
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	میانگین
سی ک	52.10	57.41	52.37	53.96
ام	47.90	42.59	47.63	46.04

چاک پوشش TaC دیسک سیاره ای پوشش TaC صفحه با پوشش TaC صفحه چرخشی پوشش TaC گیرنده پوشش TaC پوشش CVD TaC پوشش حلقه پوشش CVD TaC صفحه پوشش TaC

View as

<...4 5 6 7 8 >

به عنوان یک تولید کننده و تامین کننده حرفه ای پوشش کاربید تانتالیوم در چین، ما کارخانه خود را داریم. این که آیا به خدمات سفارشی‌سازی شده برای رفع نیازهای خاص منطقه خود نیاز دارید یا می‌خواهید پیشرفته و بادوام پوشش کاربید تانتالیوم ساخت چین بخرید، می‌توانید برای ما پیام بگذارید.