نیمه هادی VeTek تولید کننده پیشرو مواد پوشش کاربید تانتالم برای صنعت نیمه هادی است. محصولات اصلی ما شامل قطعات پوشش کاربید تانتالم CVD، قطعات پوشش TaC متخلخل شده برای رشد کریستال SiC یا فرآیند اپیتاکسی نیمه هادی است. با تصویب ISO9001، نیمه هادی VeTek کنترل خوبی بر کیفیت دارد. نیمه هادی VeTek برای تبدیل شدن به مبتکر در صنعت پوشش کاربید تانتالم از طریق تحقیق و توسعه مداوم فناوری های تکراری اختصاص داده شده است.
محصولات اصلی هستندحلقه ناقص پوشش کاربید تانتالیوم، حلقه انحرافی با پوشش TaC، قطعات نیمه ماه با پوشش TaC، دیسک چرخش سیاره ای با پوشش کاربید تانتالم (Aixtron G10)، بوته با پوشش TaC. حلقه های با پوشش TaC; گرافیت متخلخل با پوشش TaC; گیره گرافیتی پوشش کاربید تانتالم; حلقه راهنما با پوشش TaC; صفحه پوشش داده شده با کاربید تانتالم TaC; گیرنده ویفر با پوشش TaC; حلقه پوشش TaC; پوشش گرافیتی پوشش TaC; تکه با پوشش TaCو غیره، خلوص زیر 5ppm است، می تواند نیازهای مشتری را برآورده کند.
گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح یک بستر گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز کاربید تانتالیوم توسط فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد می شود. مزیت آن در تصویر زیر نشان داده شده است:
پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) به دلیل نقطه ذوب بالای آن تا 3880 درجه سانتیگراد، استحکام مکانیکی عالی، سختی و مقاومت در برابر شوک های حرارتی مورد توجه قرار گرفته است و آن را به جایگزینی جذاب برای فرآیندهای اپیتاکسی نیمه هادی مرکب با شرایط دمایی بالاتر تبدیل کرده است. مانند سیستم Aixtron MOCVD و فرآیند اپیتاکسی LPE SiC. همچنین کاربرد گسترده ای در فرآیند رشد کریستال SiC روش PVT دارد.
پایداری دما
خلوص فوق العاده بالا
مقاومت در برابر H2، NH3، SiH4، Si
مقاومت در برابر استوک حرارتی
چسبندگی قوی به گرافیت
پوشش پوششی منسجم
اندازه تا قطر 750 میلی متر (تنها سازنده در چین به این اندازه می رسد)
حامل ویفر
گیرنده گرمایش القایی
المنت حرارتی مقاومتی
دیسک ماهواره
سر دوش
حلقه راهنما
گیرنده LED Epi
نازل تزریق
حلقه ماسک
سپر حرارتی
خواص فیزیکی پوشش TaC | |
تراکم | 14.3 (g/cm³) |
انتشار ویژه | 0.3 |
ضریب انبساط حرارتی | 6.3 10-6/ ک |
سختی (HK) | 2000 هنگ کنگ |
مقاومت | 1×10-5اهم * سانتی متر |
پایداری حرارتی | <2500℃ |
اندازه گرافیت تغییر می کند | -10~-20 میلی متر |
ضخامت پوشش | مقدار معمولی ≥20um (10±35um) |
عنصر | درصد اتمی | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | میانگین | |
سی ک | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
تا ام | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
نیمه هادی VeTek یک لوله با پوشش کاربید تانتالم برای رشد کریستال تولید کننده و مبتکر در چین است. ما سال هاست در زمینه پوشش سرامیکی تخصص داشته ایم. محصولات ما دارای خلوص بالا و مقاومت در برابر دمای بالا هستند. ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما شویم. در چین.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor یک حلقه با پوشش TaC در مقیاس بزرگ برای تولید کننده و مبتکر راکتور SiC Epitaxial در چین است. ما سال هاست در پوشش TaC تخصص داشته ایم. محصولات ما دارای خلوص بالا، پایداری بالا، مقاومت در برابر خوردگی عالی، استحکام باند بالا هستند. برای تبدیل شدن به شریک طولانی مدت شما در چین.
ادامه مطلبارسال استعلامنیمه هادی VeTek یک قطعه نیمه ماه با پوشش کاربید تانتالم در مقیاس بزرگ برای تولید کننده و مبتکر LPE در چین است. ما سال هاست در پوشش TaC تخصص داشته ایم. محصولات ما می توانند دمای بالای 2000 درجه سانتیگراد را تحمل کنند و طول عمر مواد مصرفی را افزایش دهند. ما مشتاقانه منتظر هستیم. برای تبدیل شدن به شریک طولانی مدت شما در چین.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor یک تولید کننده و مبتکر برجسته حلقه راهنما با پوشش TaC در چین است. ما سال ها در زمینه پوشش سرامیکی تخصص داشته ایم. حلقه راهنمای با پوشش TaC عمدتاً برای هدایت و کنترل جریان هوا استفاده می شود و عملکرد رشد تک کریستال را افزایش می دهد. خوش آمدید برای اطلاعات بیشتر از ما پرس و جو کنید.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor یک تولید کننده و مبتکر دیسک چرخش سیاره ای با پوشش کاربید تانتالم پیشرو در چین است. ما سال هاست در زمینه پوشش سرامیکی تخصص داشته ایم. محصولات ما دارای خلوص بالا و مقاومت در برابر دمای بالا هستند. ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در این زمینه باشیم. چین.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor تولید کننده و مبتکر پیشرو حامل ویفر گرافیتی با پوشش TaC و مبتکر در چین است. ما سالها در پوشش SiC و TaC تخصص داشته ایم. حامل ویفر گرافیتی با روکش TaC ما دارای مقاومت در برابر درجه حرارت بالاتر و مقاوم در برابر سایش است. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلندمدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلام