حلقه سه گلبرگ با روکش TaC

VeTek Semiconductor یک تولید کننده حلقه سه گلبرگ با پوشش TaC و مبتکر پیشرو در چین است. ما سال هاست در پوشش TaC و SiC تخصص داشته ایم. محصولات ما دارای مقاومت در برابر خوردگی و استحکام بالا هستند. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلندمدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

VeTek Semiconductor یک تولید کننده و تامین کننده حلقه سه گلبرگ با پوشش TaC چین است. حلقه سه گلبرگ با پوشش TaC در سیستم رسوب دهی Aixtron G10 برای نیمه هادی های مرکب استفاده می شود. برنامه های کاربردی.

پوشش نیمه هادی TaC VeTek نسل جدیدی از مواد مقاوم در برابر درجه حرارت بالا است، با ثبات دمای بالا بهتر از SiC، به عنوان یک پوشش مقاوم در برابر خوردگی، پوشش مقاوم در برابر اکسیداسیون، پوشش مقاوم در برابر سایش، می تواند در محیط بالای 2000 ℃ استفاده شود، به طور گسترده ای در هوافضا با دمای فوق العاده بالا قطعات انتهایی داغ، نسل سوم رشد تک کریستال نیمه هادی و زمینه های دیگر.

مشخصات محصول:

1. خلوص بالا، محتوای ناخالصی < 5ppm

2. مقاومت در برابر درجه حرارت بالا، مقاومت در برابر خوردگی، چگالی بالا، چگالی بالا

3. از نظر شیمیایی نسبت به آمونیاک، هیدروژن، سیلان و سیلیکون در دمای بالا بی اثر است و پایداری حرارتی خوبی دارد.

4. مقاومت در برابر شوک حرارتی، می تواند چرخه عملیات را سرعت بخشد

5. چسبندگی قوی گرافیت عمر طولانی و بدون لایه برداری پوشش را تضمین می کند.

6. تحمل ابعادی دقیق.

برنامه های اصلی:

1. رشد اپیتاکسیال

2. رشد تک بلور

3. انحراف خوردگی در دمای بالا

4. درجه حرارت بالا و نازل مقاوم در برابر اکسیداسیون

5. پره های توربین گاز

پارامتر محصول حلقه سه گلبرگ با پوشش TaC

خواص فیزیکی پوشش TaC
تراکم	14.3 (g/cm³)
انتشار ویژه	0.3
ضریب انبساط حرارتی	6.3 10-6/K
سختی (HK)	2000 هنگ کنگ
مقاومت	1×10-5 اهم * سانتی متر
پایداری حرارتی	<2500℃
اندازه گرافیت تغییر می کند	-10~-20 میلی متر
ضخامت پوشش	مقدار معمولی ≥20um (10±35um)