پوششهای کاربید منحصربفرد VeTek Semiconductor محافظت عالی برای قطعات گرافیتی در فرآیند اپیتاکسی SiC برای پردازش مواد نیمهرسانا و نیمهرساناهای مرکب مورد نیاز را فراهم میکند. نتیجه افزایش عمر اجزای گرافیت، حفظ استوکیومتری واکنش، مهار مهاجرت ناخالصی به کاربردهای اپیتاکسی و رشد کریستال است که منجر به افزایش بازده و کیفیت میشود.
پوشش های کاربید تانتالیوم (TaC) ما از اجزای مهم کوره و راکتور در دماهای بالا (تا 2200 درجه سانتیگراد) در برابر آمونیاک داغ، هیدروژن، بخارات سیلیکون و فلزات مذاب محافظت می کند. VeTek Semiconductor دارای طیف گسترده ای از پردازش و اندازه گیری گرافیت است تا نیازهای سفارشی شما را برآورده کند، بنابراین ما می توانیم یک پوشش یا خدمات کامل را با هزینه پرداخت کنیم، با تیم مهندسین متخصص خود آماده طراحی راه حل مناسب برای شما و برنامه خاص شما. .
کریستال های نیمه هادی مرکب
نیمه هادی VeTek می تواند پوشش های TaC ویژه ای را برای اجزا و حامل های مختلف ارائه دهد. از طریق فرآیند پوششدهی پیشرو در صنعت VeTek Semiconductor، پوشش TaC میتواند خلوص بالا، پایداری در دمای بالا و مقاومت شیمیایی بالا را به دست آورد، در نتیجه کیفیت محصول کریستال TaC/GaN) و لایههای EPl را بهبود میبخشد و طول عمر اجزای مهم راکتور را افزایش میدهد.
عایق های حرارتی
اجزای رشد کریستال SiC، GaN و AlN شامل بوتهها، نگهدارندههای دانه، منحرف کنندهها و فیلترها. مجموعه های صنعتی شامل عناصر گرمایش مقاومتی، نازل ها، حلقه های محافظ و وسایل لحیم کاری، اجزای راکتور CVD همپای GaN و SiC شامل حامل های ویفر، سینی های ماهواره، سر دوش، کلاهک ها و پایه ها، اجزای MOCVD.
حامل ویفر LED (دیود ساطع کننده نور).
گیرنده ALD (نیمه هادی).
گیرنده EPI (فرایند اپیتاکسی SiC)
SiC | TaC | |
ویژگی های اصلی | خلوص فوق العاده بالا، مقاومت عالی در پلاسما | پایداری عالی در دمای بالا (انطباق فرآیند با دمای بالا) |
خلوص | >99.9999٪ | >99.9999٪ |
چگالی (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
سختی (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
مقاومت [Ωcm] | 0.1-15000 | <1 |
هدایت حرارتی (W/m-K) | 200-360 | 22 |
ضریب انبساط حرارتی (10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
کاربرد | جیگ سرامیکی تجهیزات نیمه هادی (حلقه فوکوس، سر دوش، ویفر ساختگی) | قطعات رشد تک کریستالی SiC، Epi، UV LED Equipment |
VeTek Semiconductor یک تولید کننده حرفه ای از GaN on SiC epi susceptor، پوشش CVD SiC و گیره گرافیت CVD TAC COATING در چین است. در میان آنها، GaN روی گیرنده epi SiC نقش حیاتی در پردازش نیمه هادی ایفا می کند. از طریق هدایت حرارتی عالی، توانایی پردازش در دمای بالا و پایداری شیمیایی، راندمان بالا و کیفیت مواد فرآیند رشد اپیتاکسی GaN را تضمین می کند. ما صمیمانه منتظر مشاوره بیشتر شما هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلامحامل پوشش CVD TaC VeTek Semiconductor عمدتا برای فرآیند همپایی تولید نیمه هادی طراحی شده است. نقطه ذوب فوق العاده بالا حامل CVD TaC Coating، مقاومت در برابر خوردگی عالی و پایداری حرارتی فوق العاده، ضروری بودن این محصول را در فرآیند همپایی نیمه هادی تعیین می کند. ما صمیمانه امیدواریم که بتوانیم یک رابطه تجاری طولانی مدت با شما ایجاد کنیم.
ادامه مطلبارسال استعلامحلقه راهنمای پوشش TaC نیمه هادی VeTek با استفاده از پوشش کاربید تانتالم بر روی قطعات گرافیت با استفاده از تکنیک بسیار پیشرفته ای به نام رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد می شود. این روش به خوبی تثبیت شده است و خواص پوشش استثنایی را ارائه می دهد. با استفاده از حلقه راهنمای پوشش TaC می توان طول عمر اجزای گرافیت را به میزان قابل توجهی افزایش داد، حرکت ناخالصی های گرافیت را مهار کرد و کیفیت تک کریستال SiC و AIN را به طور قابل اعتمادی حفظ کرد. به پرس و جو از ما خوش آمدید.
ادامه مطلبارسال استعلامگیرنده گرافیتی با پوشش TaC نیمه هادی VeTek از روش رسوب بخار شیمیایی (CVD) برای تهیه پوشش کاربید تانتالم بر روی سطح قطعات گرافیتی استفاده می کند. این فرآیند بالغ ترین و دارای بهترین خواص پوششی است. گیرنده گرافیت با پوشش TaC می تواند عمر مفید اجزای گرافیت را افزایش دهد، از مهاجرت ناخالصی های گرافیت جلوگیری کند و کیفیت اپیتاکسی را تضمین کند. VeTek Semiconductor مشتاقانه منتظر درخواست شما است.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor Susceptor Coating TaC را ارائه می دهد، با پوشش استثنایی TaC خود، این susceptor مزایای بسیاری را ارائه می دهد که آن را از راه حل های معمولی متمایز می کند. با ادغام یکپارچه در سیستم های موجود، TaC Coating Susceptor از VeTek Semiconductor سازگاری و عملکرد کارآمد را تضمین می کند. عملکرد قابل اعتماد و پوشش TaC با کیفیت بالا به طور مداوم نتایج استثنایی را در فرآیندهای اپیتاکسی SiC ارائه می دهد. ما متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی هستیم و مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.
ادامه مطلبارسال استعلامصفحه چرخشی پوشش TaC نیمه هادی VeTek دارای یک پوشش TaC برجسته است، با پوشش استثنایی TaC، صفحات چرخشی پوشش TaC دارای مقاومت قابل توجه در دمای بالا و بی اثری شیمیایی هستند که آن را از راه حل های سنتی متمایز می کند. ما متعهد به ارائه محصولات با کیفیت در رقابت هستیم. قیمت ها و مشتاقانه منتظر شریک طولانی مدت شما در چین باشید.
ادامه مطلبارسال استعلام