پوششهای کاربید منحصربفرد VeTek Semiconductor محافظت عالی برای قطعات گرافیتی در فرآیند اپیتاکسی SiC برای پردازش مواد نیمهرسانا و نیمهرساناهای مرکب مورد نیاز را فراهم میکند. نتیجه افزایش عمر اجزای گرافیت، حفظ استوکیومتری واکنش، مهار مهاجرت ناخالصی به کاربردهای اپیتاکسی و رشد کریستال است که منجر به افزایش بازده و کیفیت میشود.
پوشش های کاربید تانتالیوم (TaC) ما از اجزای مهم کوره و راکتور در دماهای بالا (تا 2200 درجه سانتیگراد) در برابر آمونیاک داغ، هیدروژن، بخارات سیلیکون و فلزات مذاب محافظت می کند. VeTek Semiconductor دارای طیف گسترده ای از پردازش و اندازه گیری گرافیت است تا نیازهای سفارشی شما را برآورده کند، بنابراین ما می توانیم یک پوشش یا خدمات کامل را با هزینه پرداخت کنیم، با تیم مهندسین متخصص خود آماده طراحی راه حل مناسب برای شما و برنامه خاص شما. .
کریستال های نیمه هادی مرکب
نیمه هادی VeTek می تواند پوشش های TaC ویژه ای را برای اجزا و حامل های مختلف ارائه دهد. از طریق فرآیند پوششدهی پیشرو در صنعت VeTek Semiconductor، پوشش TaC میتواند خلوص بالا، پایداری در دمای بالا و مقاومت شیمیایی بالا را به دست آورد، در نتیجه کیفیت محصول کریستال TaC/GaN) و لایههای EPl را بهبود میبخشد و طول عمر اجزای مهم راکتور را افزایش میدهد.
عایق های حرارتی
اجزای رشد کریستال SiC، GaN و AlN شامل بوتهها، نگهدارندههای دانه، منحرف کنندهها و فیلترها. مجموعه های صنعتی شامل عناصر گرمایش مقاومتی، نازل ها، حلقه های محافظ و وسایل لحیم کاری، اجزای راکتور CVD همپای GaN و SiC شامل حامل های ویفر، سینی های ماهواره، سر دوش، کلاهک ها و پایه ها، اجزای MOCVD.
حامل ویفر LED (دیود ساطع کننده نور).
گیرنده ALD (نیمه هادی).
گیرنده EPI (فرایند اپیتاکسی SiC)
SiC | TaC | |
ویژگی های اصلی | خلوص فوق العاده بالا، مقاومت عالی در پلاسما | پایداری عالی در دمای بالا (انطباق فرآیند با دمای بالا) |
خلوص | >99.9999٪ | >99.9999٪ |
چگالی (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
سختی (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
مقاومت [Ωcm] | 0.1-15000 | <1 |
هدایت حرارتی (W/m-K) | 200-360 | 22 |
ضریب انبساط حرارتی (10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
کاربرد | جیگ سرامیکی تجهیزات نیمه هادی (حلقه فوکوس، سر دوش، ویفر ساختگی) | قطعات رشد تک کریستالی SiC، Epi، UV LED Equipment |
صفحه پوششی TaC نیمه هادی VeTek محصولی قابل توجه است که ویژگی ها و مزایای استثنایی را ارائه می دهد. صفحه پوشش TaC ما که با دقت طراحی و مهندسی شده است، به طور خاص برای کاربردهای مختلف در فرآیندهای رشد تک کریستال کاربید سیلیکون (SiC) طراحی شده است. و عملکرد کارآمد عملکرد قابل اعتماد و پوشش با کیفیت بالا به نتایج ثابت و یکنواخت در کاربردهای رشد کریستال SiC کمک می کند.
ادامه مطلبارسال استعلامپوشش پوشش CVD TaC ارائه شده توسط VeTek Semiconductor یک جزء بسیار تخصصی است که به طور خاص برای برنامه های کاربردی طراحی شده است. پوشش پوشش CVD TaC ما با ویژگی های پیشرفته و عملکرد استثنایی خود چندین مزیت کلیدی را ارائه می دهد. پوشش پوشش CVD TaC ما حفاظت و عملکرد لازم برای موفقیت را فراهم می کند. ما مشتاقانه منتظر بررسی همکاری بالقوه با شما هستیم!
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor یک محصول استثنایی برای تجهیزات اپیتاکسی Aixtron است. پوشش قوی TaC مقاومت عالی در برابر دمای بالا و بی اثری شیمیایی را ارائه می دهد. این ترکیب منحصر به فرد عملکرد قابل اعتماد و عمر طولانی را حتی در محیط های سخت تضمین می کند. VeTek متعهد به ارائه محصولات با کیفیت بالا و خدمت به عنوان یک شریک طولانی مدت در بازار چین با قیمت رقابتی است.
ادامه مطلبارسال استعلامصفحه پشتی پایه روکش TaC VeTek Semiconductor's Semiconductor's TaC یک محصول با دقت بالا است که برای برآوردن نیازهای خاص فرآیندهای اپیتاکسی نیمه هادی طراحی شده است. با پوشش TaC، مقاومت در برابر دمای بالا و بی اثری شیمیایی، محصول ما به شما این امکان را می دهد که لایه های EPI با کیفیت بالا را با کیفیت بالا تولید کنید. ما متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی هستیم و مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.
ادامه مطلبارسال استعلامچاک پوششی TaC نیمه هادی VeTek دارای یک پوشش TaC با کیفیت بالا است که به دلیل مقاومت فوق العاده در دمای بالا و بی اثری شیمیایی، به ویژه در فرآیندهای اپیتاکسی کاربید سیلیکون (SiC) (EPI) شناخته شده است. چاک پوششی TaC ما با ویژگیهای استثنایی و عملکرد عالی خود چندین مزیت کلیدی را ارائه میدهد.
ادامه مطلبارسال استعلامLPE SiC Epi Halfmoon توسط VeTek Semiconductor، محصولی انقلابی که برای بالا بردن فرآیندهای اپیتاکسی SiC راکتور LPE طراحی شده است. این راه حل پیشرفته دارای چندین ویژگی کلیدی است که عملکرد و کارایی برتر را در طول عملیات تولید شما تضمین می کند. مشتاقانه منتظر راه اندازی همکاری طولانی مدت با شما هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلام