پوششهای کاربید منحصربفرد VeTek Semiconductor محافظت عالی برای قطعات گرافیتی در فرآیند اپیتاکسی SiC برای پردازش مواد نیمهرسانا و نیمهرساناهای مرکب مورد نیاز را فراهم میکند. نتیجه افزایش عمر اجزای گرافیت، حفظ استوکیومتری واکنش، مهار مهاجرت ناخالصی به کاربردهای اپیتاکسی و رشد کریستال است که منجر به افزایش بازده و کیفیت میشود.
پوشش های کاربید تانتالیوم (TaC) ما از اجزای مهم کوره و راکتور در دماهای بالا (تا 2200 درجه سانتیگراد) در برابر آمونیاک داغ، هیدروژن، بخارات سیلیکون و فلزات مذاب محافظت می کند. VeTek Semiconductor دارای طیف گسترده ای از پردازش و اندازه گیری گرافیت است تا نیازهای سفارشی شما را برآورده کند، بنابراین ما می توانیم یک پوشش یا خدمات کامل را با هزینه پرداخت کنیم، با تیم مهندسین متخصص خود آماده طراحی راه حل مناسب برای شما و برنامه خاص شما. .
کریستال های نیمه هادی مرکب
نیمه هادی VeTek می تواند پوشش های TaC ویژه ای را برای اجزا و حامل های مختلف ارائه دهد. از طریق فرآیند پوششدهی پیشرو در صنعت VeTek Semiconductor، پوشش TaC میتواند خلوص بالا، پایداری در دمای بالا و مقاومت شیمیایی بالا را به دست آورد، در نتیجه کیفیت محصول کریستال TaC/GaN) و لایههای EPl را بهبود میبخشد و طول عمر اجزای مهم راکتور را افزایش میدهد.
عایق های حرارتی
اجزای رشد کریستال SiC، GaN و AlN شامل بوتهها، نگهدارندههای دانه، منحرف کنندهها و فیلترها. مجموعه های صنعتی شامل عناصر گرمایش مقاومتی، نازل ها، حلقه های محافظ و وسایل لحیم کاری، اجزای راکتور CVD همپای GaN و SiC شامل حامل های ویفر، سینی های ماهواره، سر دوش، کلاهک ها و پایه ها، اجزای MOCVD.
حامل ویفر LED (دیود ساطع کننده نور).
گیرنده ALD (نیمه هادی).
گیرنده EPI (فرایند اپیتاکسی SiC)
SiC | TaC | |
ویژگی های اصلی | خلوص فوق العاده بالا، مقاومت عالی در پلاسما | پایداری عالی در دمای بالا (انطباق فرآیند با دمای بالا) |
خلوص | >99.9999٪ | >99.9999٪ |
چگالی (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
سختی (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
مقاومت [Ωcm] | 0.1-15000 | <1 |
هدایت حرارتی (W/m-K) | 200-360 | 22 |
ضریب انبساط حرارتی (10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
کاربرد | جیگ سرامیکی تجهیزات نیمه هادی (حلقه فوکوس، سر دوش، ویفر ساختگی) | قطعات رشد تک کریستالی SiC، Epi، UV LED Equipment |
VeTek Semiconductor یک حلقه با پوشش TaC در مقیاس بزرگ برای تولید کننده و مبتکر راکتور SiC Epitaxial در چین است. ما سال هاست در پوشش TaC تخصص داشته ایم. محصولات ما دارای خلوص بالا، پایداری بالا، مقاومت در برابر خوردگی عالی، استحکام باند بالا هستند. برای تبدیل شدن به شریک طولانی مدت شما در چین.
ادامه مطلبارسال استعلامنیمه هادی VeTek یک قطعه نیمه ماه با پوشش کاربید تانتالم در مقیاس بزرگ برای تولید کننده و مبتکر LPE در چین است. ما سال هاست در پوشش TaC تخصص داشته ایم. محصولات ما می توانند دمای بالای 2000 درجه سانتیگراد را تحمل کنند و طول عمر مواد مصرفی را افزایش دهند. ما مشتاقانه منتظر هستیم. برای تبدیل شدن به شریک طولانی مدت شما در چین.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor یک تولید کننده و مبتکر دیسک چرخش سیاره ای با پوشش کاربید تانتالم پیشرو در چین است. ما سال هاست در زمینه پوشش سرامیکی تخصص داشته ایم. محصولات ما دارای خلوص بالا و مقاومت در برابر دمای بالا هستند. ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در این زمینه باشیم. چین.
ادامه مطلبارسال استعلام