نیمه هادی VeTek در تولید محصولات پوشش کاربید سیلیکون فوق خالص تخصص دارد، این پوشش ها برای اعمال بر روی گرافیت خالص، سرامیک و اجزای فلزی نسوز طراحی شده اند.
پوششهای با خلوص بالا عمدتاً برای استفاده در صنایع نیمهرسانا و الکترونیک هدفگذاری شدهاند. آنها به عنوان یک لایه محافظ برای حاملهای ویفر، گیرندهها و عناصر گرمایشی عمل میکنند و از آنها در برابر محیطهای خورنده و واکنشپذیری که در فرآیندهایی مانند MOCVD و EPI با آن مواجه میشوند، محافظت میکنند. این فرآیندها برای پردازش ویفر و ساخت دستگاه یکپارچه هستند. علاوه بر این، پوششهای ما برای کاربرد در کورههای خلاء و گرمایش نمونه، که در آن محیطهای خلاء، واکنشپذیر و اکسیژن بالا وجود دارد، مناسب هستند.
در VeTek Semiconductor، ما یک راه حل جامع با قابلیت های پیشرفته ماشین آلات خود ارائه می دهیم. این ما را قادر می سازد تا اجزای پایه را با استفاده از گرافیت، سرامیک یا فلزات نسوز تولید کنیم و پوشش های سرامیکی SiC یا TaC را در داخل خود اعمال کنیم. ما همچنین خدمات پوشش را برای قطعات عرضه شده توسط مشتری ارائه می دهیم و انعطاف پذیری را برای رفع نیازهای مختلف تضمین می کنیم.
محصولات پوشش کاربید سیلیکون ما به طور گسترده ای در اپیتاکسی Si، اپیتاکسی SiC، سیستم MOCVD، فرآیند RTP/RTA، فرآیند اچینگ، فرآیند اچ کردن ICP/PSS، فرآیند انواع مختلف LED، از جمله LED آبی و سبز، LED UV و UV عمیق استفاده می شود. LED و غیره، که با تجهیزات LPE، Aixtron، Veeco، Nuflare، TEL، ASM، Annealsys سازگار است، TSI و غیره.
خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC | |
اموال | ارزش معمولی |
ساختار کریستالی | فاز β FCC پلی کریستالی، عمدتاً (111) گرا |
چگالی پوشش SiC | 3.21 گرم بر سانتی متر مکعب |
سختی پوشش SiC | سختی 2500 ویکرز (بار 500 گرم) |
اندازه دانه | 2 تا 10 میکرومتر |
خلوص شیمیایی | 99.99995% |
ظرفیت حرارتی | 640 ژون کیلوگرم-1· K-1 |
دمای تصعید | 2700 ℃ |
قدرت خمشی | 415 مگاپاسکال RT 4 نقطه |
مدول یانگ | 430 Gpa خم 4pt، 1300℃ |
هدایت حرارتی | 300W·m-1· K-1 |
انبساط حرارتی (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor یک تولید کننده و تامین کننده پیشرو پشتیبانی با پوشش SiC برای LPE PE2061S در چین است. پشتیبانی با پوشش SiC برای LPE PE2061S برای راکتور اپیتاکسیال سیلیکون LPE مناسب است. به عنوان پایین پایه بشکه، پشتیبانی با پوشش SiC برای LPE PE2061S می تواند دمای بالای 1600 درجه سانتیگراد را تحمل کند، در نتیجه عمر محصول فوق العاده طولانی و هزینه های مشتری کاهش می یابد. مشتاقانه منتظر درخواست شما و ارتباطات بیشتر هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor سالهاست که عمیقاً در محصولات پوشش SiC مشغول است و به تولید کننده و تامین کننده پیشرو صفحه روکش SiC برای LPE PE2061S در چین تبدیل شده است. صفحه رویی با پوشش SiC برای LPE PE2061S که ما ارائه می کنیم برای راکتورهای اپیتاکسیال سیلیکون LPE طراحی شده است و در قسمت بالایی همراه با پایه بشکه قرار دارد. این صفحه روکش SiC برای LPE PE2061S دارای ویژگی های عالی مانند خلوص بالا، پایداری حرارتی عالی و یکنواختی است که به رشد لایه های اپیتاکسیال با کیفیت بالا کمک می کند. مهم نیست به چه محصولی نیاز دارید، ما مشتاقانه منتظر درخواست شما هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor بهعنوان یکی از پیشروترین کارخانههای تولید ویفر ویفر در چین، پیشرفت مستمری در محصولات ویفر گیرنده داشته است و به اولین انتخاب برای بسیاری از تولیدکنندگان ویفر همپای تبدیل شده است. گیره بشکه ای با پوشش SiC برای LPE PE2061S ارائه شده توسط VeTek Semiconductor برای ویفرهای LPE PE2061S 4 اینچی طراحی شده است. سوسپتور دارای یک پوشش کاربید سیلیکون بادوام است که عملکرد و دوام را در طول فرآیند LPE (اپیتاکسی فاز مایع) بهبود می بخشد. از درخواست شما خوش آمدید، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامسر دوش گاز جامد SiC نقش عمده ای در یکنواخت شدن گاز در فرآیند CVD ایفا می کند و در نتیجه گرمایش یکنواخت زیرلایه را تضمین می کند. VeTek Semiconductor سالهاست که عمیقاً در زمینه دستگاههای SiC جامد درگیر بوده و قادر است سر دوش گاز جامد SiC را به مشتریان ارائه دهد. مهم نیست نیازهای شما چیست، ما مشتاقانه منتظر درخواست شما هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلامVeTek Semiconductor همواره متعهد به تحقیق و توسعه و ساخت مواد نیمه هادی پیشرفته بوده است. امروزه، VeTek Semiconductor پیشرفت زیادی در محصولات حلقه SiC جامد داشته است و می تواند حلقه های لبه SiC جامد بسیار سفارشی شده را به مشتریان ارائه دهد. حلقه های لبه SiC جامد هنگام استفاده با یک چاک الکترواستاتیک، یکنواختی حکاکی بهتر و موقعیت دقیق ویفر را ارائه می دهند و از نتایج حکاکی ثابت و قابل اطمینان اطمینان می دهند. مشتاقانه منتظر درخواست شما و تبدیل شدن به شرکای طولانی مدت یکدیگر هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلامحلقه فوکوس اچینگ Solid SiC یکی از اجزای اصلی فرآیند اچ ویفر است که در تثبیت ویفر، فوکوس پلاسما و بهبود یکنواختی اچ ویفر نقش دارد. VeTek Semiconductor به عنوان پیشروترین تولید کننده حلقه فوکوس SiC در چین، دارای فناوری پیشرفته و فرآیند بالغ است و حلقه فوکوس اچینگ جامد SiC را تولید می کند که به طور کامل نیازهای مشتریان نهایی را مطابق با نیاز مشتری برآورده می کند. ما مشتاقانه منتظر درخواست شما و تبدیل شدن به شرکای طولانی مدت یکدیگر هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلام