صفحه تکیه گاه پایه روکش TaC

VeTek Semiconductor سازنده و تامین کننده چین است که عمدتاً گیره های پوشش CVD TaC، حلقه ورودی، ویفر Chunck، نگهدارنده با پوشش TaC، صفحه پشتی پایه پایه پوشش TaC را با سالها تجربه تولید می کند. به امید ایجاد رابطه تجاری با شما.

سرامیک های TaC دارای نقطه ذوب تا 3880 درجه سانتیگراد، سختی بالا (سختی Mohs 9 ~ 10)، هدایت حرارتی زیاد (22W·m-1·K-1)، مقاومت خمشی زیاد (340 ~ 400MPa) و انبساط حرارتی کوچک هستند. ضریب (6.6×10-6K-1)، و پایداری حرارتی عالی و خواص فیزیکی عالی را نشان می دهد. سازگاری شیمیایی و مکانیکی خوبی با گرافیت و مواد کامپوزیت C/C دارد، بنابراین پوشش TaC به طور گسترده در حفاظت حرارتی هوافضا، رشد تک کریستال و راکتورهای همپایه مانند Aixtron، راکتور LPE EPI در صنعت نیمه هادی استفاده می شود. گرافیت با پوشش TaC نسبت به جوهر سنگ لخت یا گرافیت با روکش SiC مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی بهتری دارد، می تواند به طور پایدار در دمای بالای 2200 درجه استفاده شود، با بسیاری از عناصر فلزی واکنش نشان نمی دهد، نسل سوم صحنه رشد تک کریستال نیمه هادی، اپیتاکسی و حکاکی ویفر است. از بهترین پوشش عملکرد، می تواند به طور قابل توجهی فرآیند کنترل دما و ناخالصی، تهیه ویفرهای کاربید سیلیکون با کیفیت بالا و ویفرهای اپیتاکسیال مرتبط را بهبود بخشد. این به ویژه برای رشد تک کریستال GaN یا AlN در تجهیزات MOCVD و تک کریستال SiC در تجهیزات PVT مناسب است و کیفیت تک کریستال رشد یافته به وضوح بهبود یافته است.

پوشش TaC و پوشش SiC قطعات یدکی ما می توانیم انجام دهیم:

پارامتر پوشش TaC:

زنجیره صنعتی:

فروشگاه تولید