گیرنده سیاره ای پوشش TaC

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor یک محصول استثنایی برای تجهیزات اپیتاکسی Aixtron است. پوشش قوی TaC مقاومت عالی در برابر دمای بالا و بی اثری شیمیایی را ارائه می دهد. این ترکیب منحصر به فرد عملکرد قابل اعتماد و عمر طولانی را حتی در محیط های سخت تضمین می کند. VeTek متعهد به ارائه محصولات با کیفیت بالا و خدمت به عنوان یک شریک طولانی مدت در بازار چین با قیمت رقابتی است.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

در حوزه تولید نیمه هادی ها، TaC Coating Planetary Susceptor نقش مهمی ایفا می کند. این به طور گسترده ای در رشد لایه های اپیتاکسیال کاربید سیلیکون (SiC) در تجهیزاتی مانند سیستم Aixtron G5 استفاده می شود. علاوه بر این، هنگامی که به عنوان یک دیسک بیرونی در رسوب پوشش کاربید تانتالم (TaC) برای اپیتاکسی SiC استفاده می شود، محافظ سیاره ای پوشش TaC پشتیبانی و پایداری ضروری را فراهم می کند. این رسوب یکنواخت لایه کاربید تانتالم را تضمین می کند و به تشکیل لایه های همپایی با کیفیت بالا با مورفولوژی سطح عالی و ضخامت فیلم دلخواه کمک می کند. بی اثری شیمیایی پوشش TaC از واکنش ها و آلودگی های ناخواسته جلوگیری می کند، یکپارچگی لایه های اپیتاکسیال را حفظ می کند و کیفیت برتر آنها را تضمین می کند.

رسانایی حرارتی استثنایی پوشش TaC انتقال حرارت کارآمد را امکان پذیر می کند، توزیع یکنواخت دما را ارتقا می دهد و تنش حرارتی را در طول فرآیند رشد همپایه به حداقل می رساند. این منجر به تولید لایه‌های سی سی سی سی با کیفیت بالا با خواص کریستالوگرافی بهبود یافته و رسانایی الکتریکی می‌شود.

ابعاد دقیق و ساختار مستحکم دیسک سیاره‌ای پوشش TaC، ادغام آن را در سیستم‌های موجود آسان می‌کند و از سازگاری یکپارچه و عملکرد کارآمد اطمینان می‌دهد. عملکرد قابل اعتماد و پوشش TaC با کیفیت بالا به نتایج ثابت و یکنواخت در فرآیندهای اپیتاکسی SiC کمک می کند.

به نیمه هادی VeTek و دیسک سیاره ای پوشش TaC ما برای عملکرد استثنایی و قابلیت اطمینان در اپیتاکسی SiC اعتماد کنید. مزایای راه حل های نوآورانه ما را تجربه کنید و شما را در خط مقدم پیشرفت های فناوری در صنعت نیمه هادی ها قرار دهید.

پوشش TaC و قطعات یدکی پوشش SiC که ما عرضه می کنیم:

پارامتر محصول محافظ سیاره ای پوشش TaC:

خواص فیزیکی پوشش TaC
تراکم	14.3 (g/cm³)
انتشار ویژه	0.3
ضریب انبساط حرارتی	6.3 10-6/K
سختی (HK)	2000 هنگ کنگ
مقاومت	1×10-5 اهم * سانتی متر
پایداری حرارتی	<2500℃
اندازه گرافیت تغییر می کند	-10~-20 میلی متر
ضخامت پوشش	مقدار معمولی ≥20um (10±35um)