حلقه راهنمای کاربید تانتالیوم

نیمه هادی VeTekرین راهنمای کاربید تانتالیومgساخته شده است ازگرافیتوپوشش داده شده با کاربید تانتالیوم، ترکیبی که از بهترین خواص هر دو ماده برای اطمینان از عملکرد و طول عمر برتر استفاده می کند.

اینپوشش TaCحلقه راهنمای کاربید تانتالم تضمین می کند که از نظر شیمیایی در اتمسفرهای واکنش کوره های رشد کریستال SiC که اغلب گازهایی مانند هیدروژن، آرگون و نیتروژن را درگیر می کنند، بی اثر می ماند. این بی اثری شیمیایی برای جلوگیری از هرگونه آلودگی کریستال در حال رشد، که می تواند منجر به نقص و کاهش عملکرد محصولات نیمه هادی نهایی شود، حیاتی است. علاوه بر این، پایداری حرارتی ارائه شده توسط پوشش TaC به حلقه راهنمای پوشش کاربید تانتالم اجازه می دهد تا به طور موثر در دماهای بالا مورد نیاز عمل کند.رشد کریستال SiC، معمولاً بیش از 2000 درجه سانتیگراد است.

علاوه بر این، ترکیب گرافیت و TaC در حلقه پوشش کاربید تانتالم مدیریت حرارتی را در کوره رشد کریستال بهینه می‌کند. رسانایی حرارتی بالای گرافیت به طور موثر گرما را توزیع می کند، از ایجاد نقاط داغ جلوگیری می کند و رشد یکنواخت کریستال را تقویت می کند. در همین حال، پوشش کاربید تانتالیوم به عنوان یک مانع حرارتی عمل می کند و از هسته گرافیت در برابر قرار گرفتن در معرض مستقیم دماهای بالا و گازهای واکنشی محافظت می کند. این هم افزایی بین هسته و مواد پوشش منجر به یک حلقه راهنما می شود که نه تنها در برابر شرایط سخت رشد کریستال SiC مقاومت می کند، بلکه کارایی و کیفیت کلی فرآیند را نیز افزایش می دهد.

خواص مکانیکی کاربید تانتالیوم نیمه هادی VeTek تا حد زیادی سایش و پارگی حلقه پوشش کاربید تانتالیوم را کاهش می دهد. این به دلیل ماهیت تکراری آن بسیار مهم استفرآیند رشد کریستال، که حلقه راهنما را در معرض چرخه های حرارتی مکرر و تنش های مکانیکی قرار می دهد. سختی کاربید تانتالیوم و مقاومت در برابر سایش تضمین می کند که حلقه راهنما یکپارچگی ساختاری و ابعاد دقیق خود را در دوره های طولانی حفظ می کند و نیاز به تعویض مکرر را به حداقل می رساند و زمان خرابی در فرآیند تولید را کاهش می دهد.

حلقه راهنمای پوشش نیمه هادی کاربید تانتالوم VeTek یک جزء ضروری در صنعت نیمه هادی است که به طور خاص برای رشد طراحی شده است.کریستال های سیلیکون کاربید. طراحی آن از نقاط قوت گرافیت و کاربید تانتالوم برای ارائه عملکرد استثنایی در محیط‌های با دمای بالا و استرس بالا استفاده می‌کند. پوشش TaC بی اثری شیمیایی، دوام مکانیکی و پایداری حرارتی را تضمین می کند که همه اینها برای تولید کریستال های SiC با کیفیت بسیار حیاتی هستند. حلقه راهنما با حفظ یکپارچگی و عملکرد خود در شرایط شدید، از رشد کارآمد و بدون نقص کریستال های SiC پشتیبانی می کند و به پیشرفت دستگاه های نیمه هادی پرقدرت و فرکانس بالا کمک می کند.

پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) روی سطح مقطع میکروسکوپی:

خواص فیزیکی پوشش TaC: