پشتیبانی از پوشش کاربید تانتالیوم

عملکرد اصلی نیمه هادی VeTekپوشش کاربید تانتالیوم (TaC).پشتیبانی برای بهبود استمقاومت در برابر حرارت، مقاومت در برابر سایش و مقاومت در برابر خوردگیزیرلایه با پوشش لایه ای از پوشش کاربید تانتالم، به منظور بهبود دقت و قابلیت اطمینان فرآیند و افزایش طول عمر قطعات. این یک محصول پوششی با کارایی بالا است که در زمینه پردازش نیمه هادی استفاده می شود.

پشتیبان پوشش کاربید تانتالیوم VeTek Semiconductor's دارای سختی Mohs نزدیک به 9 تا 10 است که پس از الماس در رتبه دوم قرار دارد. مقاومت در برابر سایش بسیار قوی دارد و می تواند به طور موثر در برابر سایش و ضربه سطح در طول پردازش مقاومت کند، در نتیجه به طور موثر عمر مفید اجزای تجهیزات را افزایش می دهد. همراه با نقطه ذوب بالای آن در حدود 3880 درجه سانتیگراد، اغلب برای پوشش دادن اجزای کلیدی تجهیزات نیمه هادی، مانند پوشش های سطحی سازه های پشتیبانی، تجهیزات عملیات حرارتی، محفظه ها یا واشرها در تجهیزات نیمه هادی استفاده می شود تا مقاومت در برابر سایش و دمای بالا را افزایش دهد. مقاومت

با توجه به نقطه ذوب بسیار بالا کاربید تانتالم در حدود 3880 درجه سانتیگراد، در فرآیندهای پردازش نیمه هادی مانندرسوب بخار شیمیایی (CVD)ورسوب فیزیکی بخار (PVD)پوشش TaC با مقاومت قوی در دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی می تواند به طور موثر از اجزای تجهیزات محافظت کند و از خوردگی یا آسیب به بستر در محیط های شدید جلوگیری کند و محافظت موثری را برای محیط های با دمای بالا در تولید ویفر ارائه دهد. این ویژگی همچنین تعیین می‌کند که پشتیبانی از پوشش کاربید تانتالوم VeTek Semiconductor اغلب در فرآیندهای حکاکی و خورنده استفاده می‌شود.

پشتیبانی از پوشش کاربید تانتالم همچنین عملکرد کاهش آلودگی ذرات را دارد. در طول پردازش ویفر، سایش سطح معمولاً آلودگی ذرات ایجاد می کند که بر کیفیت محصول ویفر تأثیر می گذارد. ویژگی های فوق العاده محصول پوشش TaC با سختی نزدیک به 9-10 Mohs می تواند به طور موثر این سایش را کاهش دهد و در نتیجه تولید ذرات را کاهش دهد. همراه با رسانایی حرارتی عالی پوشش TaC (حدود 21 W/m·K)، می‌تواند هدایت حرارتی خوبی را در شرایط دمای بالا حفظ کند، در نتیجه عملکرد و قوام تولید ویفر را تا حد زیادی بهبود می‌بخشد.

محصولات اصلی پوشش TaC VeTek Semiconductor شاملبخاری پوششی TaC, بوته پوشش CVD TaC, محافظ چرخشی پوشش TaCوقطعات یدکی پوشش TaCو غیره، و از خدمات محصول سفارشی شده پشتیبانی می کند. VeTek Semiconductor متعهد به ارائه محصولات عالی و راه حل های فنی برای صنعت نیمه هادی است. ما صمیمانه امیدواریم که شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.

پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) روی سطح مقطع میکروسکوپی:

خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD TaC：